信息技术导论微电子与传感技术.pdf

第五章微电子与传感技术 微电子技术是信息技术领域中的关键技术，是发展电子信息产 业和各项高技术的基础。微电子技术的核心是集成电路技术， 计算机、数控机床、机器人、智能手机、家电设备、航空航天、 军事装备等无一不使用微电子集成电路技术。因此，微电子技 术是传感技术、通信技术、计算机技术发展的重要基础。 5.1 微电子技术  5.1.1微电子技术及其发展历程  第一代：电子管技术  第二代：晶体管技术  第三代：集成电路  第四代：集成电路的规模化发展  第五代：微机电集成电路 现代高保真音响电 不同功率大小的晶体三极管元件 子管功放（胆机） 半导体集成电路内部示意图 规模化发展的集成电路内部结构 微机电集成电路的内部结构  5.1.2 微电子集成电路的分类及应用  模拟集成电路  数字集成电路  数/模混合集成电路  5.1.3 微电子集成电路的封装及外形  封装的作用  封装的形式  封装的材料  四种典型的封装外形 1.双列直插（DIP） 2. 四侧引脚扁平QFP 3.插针网格阵列PGA 4.球形触点陈列BGA IP封装集成电路外形结构 QFP封装集成电路外形结构 PGA封装集成电路外形结构 BGA封装集成电路外形结构  5.1.4 微电子集成技术的发展趋势 集成电路的集成度代表着微电子集成技术的发展水平，集成度越高，意 味着单位芯片面积上所容纳的元件数目越多、加工线宽越小、技术水平 越高。 年度 1999 2001 2004 2008 2010 2014 工艺/ μm 0.18 0.13 0.09 0.045 0.032 0.014 晶体管个数/M 23.8 47.6 135 539 1000 3500 时钟频率/GHz 1.2 1.6 2.0 2.655 3.8 10 面积/mm2 340 340 390 468 600 901 连线层数 6 7 8 9 9 10 晶圆直径/英寸 12 12 14 16 16 18 （1英寸=25.4mm） 5.2 传感器技术  5.2.1 传感器概述  概念  传感器技术的重要性  传感器技术的特点和发展趋势 目前，传感技术正朝着集成化、微型化、数字化、智能化和仿生化方向 发展： （1）使用新技术、新材料的传感器 （2 ）集成传感器 （3 ）智能能传感器  5.2.2 传感器的定义和组成 1.传感器的定义 传感器（Sensor/Transducer），也称为换能器，是一种能感受到物理、化 学、生物量信息的电能器件，并将感受到的信息按一定规律变换成电压 信号、电流信号、脉冲信号等形式的输出信息，以满足信息的电子化传 输、处理、存储、显示、记录和控制等需要。  传感器是测量装置，能完成电量或非电量信息检测。  输入量是某一种被测量，可能是物理量、化学量、生物量等。  输出量是某一种物理量，这种物理量要便于传输、转换、处理、显示等， 这种物理量可以是气、光、电，但主要是电量。  输入与输出有某种对应关系，且应有一定规律和精确度。 2.传感器的组成  敏感元件  转换原件  转换电路  辅助电源  5.2.3 传感器的作用和分类 1.