第九章光学检测技术PPT课件.ppt

第九章光学检测技术 ;引言 光学方法的主要优势： ;光传感与光检测技术;特点：简单、快速、精密、廉价、性能可靠。 9.1.1 激光衍射传感的基本原理 衍射计量的基本原理：检测单缝的远场衍射，即夫朗和费衍射。;远场衍射条件： 检测面上衍射光强分布： ;引申：测量物体的尺寸变化;对衍射条纹的测量 记录固定的衍射强度 记录衍射分布特征尺寸——衍射分布极点之间的距离 ;9.1.2 激光衍射技术 （一）间隙计量法;衍射条纹间隔 间隙;两种计量方法;两个例子;（二）爱里圆斑法;9.2 激光扫描法;一种动态光传感技术 适宜对弹性体、柔性体、高温物体作精密测量;为保证测量精度，三点要求 （1）激光束垂直照射被测表面 （2）光束对物面作匀速直线扫描运动 （3）精确测定扫描时间;（a）转镜扫描;（b）反射镜准直扫描;光点扫描技术：采用时间脉冲计数测定工件尺寸。工件边缘衍射效应，测量误差大，精度在0.01mm左右；位相扫描技术 光调制扫描法 外差扫描法：测量微小变形，适用于振动条件下的高精度测量，精度达0.1μm。;一束细的激光束扫描有振动的物体表面 反射光的位相对应于物体表面的形状 设法组合参考光（扫描入射光）与反射的相位调制光 用外差技术检测 z ( x(t) ); 应用：表面的瑕疵弊病检查、表面异物探测、形状规则度检查；1 反射光检测法;检