薛老师材料物理学第3章nano.pptxVIP

 二维纳米材料的 制备、结构与特性;1、2D 纳米材料： 超晶格(superlattices)/量子阱、多层膜 超薄膜 ( 50 nm) 纳米粒子组成的（或堆砌而成的）颗粒薄膜 厚膜、涂层; 2、超晶格、量子阱材料定义 把晶格匹配很好的禁带宽度不同的两种半导体材料交替生长成周期结构，则在生长方向产生一个附加周期性，由于这个周期比天然晶体材料晶格常数大很多倍，故称为超晶格。若势垒层不是很厚，阱间载流子存在相互耦合的结构称作超晶格材料；若势垒层很厚，阱间载流子的波函数不发生重合，称作量子阱材料。 ? 生长技术: MBE，MOCVD等 ? 杂质?能带工程。 ? 新一代固体器件基础 ; GaAs和InP基超晶格、量子阱材料 ? 材料体系：GaAs基材料，如 GaAlAs,GaInAs,AlInAs 等InP基材料，如GaInAs, AlInAs, GaInAsP 等，已发展的相当成熟.如 2DEG 材料低温电子迁移率高达107cm2/Vs! ? 材料质量：单原子级界面平滑，单原子级界面陡变；掺杂、组分和厚度均匀性 ? 1.5％，陷密度一般为 ? 50cm-2。 ? 外延片尺寸: 2-4英寸已商品化,6英寸的外延片已有产品. ? 新型微结构