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光波导薄膜厚度和折射率的测量 ［简介］ 传数。因 传 数。因 设计具有 ［实验 U 的］ 了解光波导结构，学习介质平板波导理论； 掌握测量光波导有效折射率的方法； 熟悉棱镜耦合激发导模的实验方法。 ［实验仪器］ 光波导参数测量系统装置 ［预习提示］ 1. 什么叫衰减全反射？ 2. 色散方程是如何建立的？ ［实验原理］ 1. 介质平板波导理论 图1三层平板波导结构 介质平面波导由三层介质构成，如图 1所示。在衬底和覆盖层之间有一层波导 层，通 常覆盖层为空气。设衬底、波导层和覆盖层的折射率分别为 n2、nl、 nO, h为波导层厚 度（m量级）。 波导层中形成导模的必要条件是： 弘 说％ 。光在波导层中传播，光场是振荡的，而在衬底和覆盖层中则以指数衰减的形式存 在。 波导层中的导模满足色散方程，对于 TM模，色散方程可写为 =Awx + tan1 i + tair1 \ 広丿 I听英 (1. 1) 对于TE模，色散方程可写为 nh = m 7T + ——1+ tan- tail1 /rt 2 (1.2) 式中: (1.3) (1.4) (1.5) 其中为传播常数。kO为真空中的波矢的大小， 长，m为模序数。导模有效折射率 neff定义为： k0 = 2/,为实验中所用激光的 (1.6) 因而测得了导模有效折射率 neff,便知道了传播常数。对于多模波导，若知 个模的旷1、in、m+1,便可联立模序数为 m-1、m、m+1时的超越方程 (1.1),以TM模式色散方程为例，可得到： 道了三 4-tan-1 f * 9^1} “6 J丿 + tail 1 ；K. + tair* .心亠 / 2 AL/r = (w+1)A+ta n1 4 =(W 一 1)JT ?+ tan (1.7 计算机求解上述超越方程就可求得波导薄膜的厚度 h、折射率nl和模式数 O 2.棱镜耦合原理 对于图1的三层平板波导，导模传播常数必须满足： So爲勺v fi v巩 (1.8) 半光束直接从介质覆盖层向波导入射时，光束能量转化为导模能量需满足波 配条件： 矢匹 (1.9) 其中为入射角，111 (1.8) . (1.9)式可知这种耦合是不可能的。同样，光 束也不能从衬底层耦合进波导。 棱镜耦合法是在波导中激发导模的一种重要方法。棱镜耦合原理如图 2所示。若 在波导层上放置一块高折射率 (np)的棱镜，这时棱镜底部与波导层的表面 之间有一 层空气隙。当入射角以大于棱镜和空气的全反射临界角入射于棱镜底部 时，在空气隙 中产生衰逝场，与波导的衰逝场耦合，可使光束能量耦合转化为导模 的能量，耦合的 高折射率祓优勺空气隙％导淡展方1图2 高折射率祓优勺 空气隙％ 导淡展方1 图2核镜樱合原理图 (1.10) 如 pSinp = B 由于np—般比nl大，根据(1.8)、(1.10)两式可知，这种耦合是完全可 以 的。满足(1? 10)式的入射角p称为共振角。 当耦合条件满足时，大部分能量进入波导，反射光强骤减，在反射屏上能观 察到 若干条弯曲的线，即 m-lineo这时就认为导模被激发了。也可利用计算机模 拟光束能量 通过棱镜进入波导的角度扫描过程。反射率 R随入射角的变化曲线也称 为衰减全反射 (ATR )谱。如图3所示： I 9图3袁减全反射（ I 9 图3袁减全反射（ATR ）谱 图4光波仔参数测屋装 5B I ******* fiftctHr IhlM Cocrvutrr ［仪器结构］ 光波导参数测量装置如图4所示，它山激光器、偏振器、耦合棱镜、待测波 导、 0/2 0仪、光电探测器、控制仪和电脑组成。本测量装置中 0/2 0仪是一关 键部件，它由 计算机控制的步进马达传动。 ［实验内容与测量］ 有效折射率测量 有效折射率的传统测量方法是采用 m-line方法。即通过肉眼观察到 m线时,记录下角 度，计算得到有效折射率。但山于人眼误差较大，且考虑到一些 m-li ne m-line方法就不易被观察到的特殊情况（如波导损耗较大或光波波长较长等情况）， m-line方法就 本实验中，样品被放置在 0/2 0仪旋转台上，用探测器测量反射光随入射角 的变化 函数。通过反射曲线的骤减峰来判断导模的激发。为了获得较为精密的实验 数据，转台 的转速及数据釆集都III计算机来控制，如图4。需要注意的是，当转台 山讣算机控制以 角速度转动的时候，根据反射定律，反射光线将以 2转动。也就是 说，探测器将以2绕 转台中心转动。若无特殊机构，很难保证二者的同步。在本实 验中采用的0/2 0仪转台 能很好的满足上述要求。如图 5所示，圆台实际上是由 内圆台和外圆环构成，二者严格 同心。样品放置在内圆台上，当内圆台以转动时， 通过一系列机构带动外圆环以 2转动。 探测器放置在外圆环