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Nomarski 棱镜剪切方向的调整 透射光路调整 Nomarski 棱镜的剪切方向应与检偏器零位成45o 取下反光镜，检偏器旋转到45o 转动起偏器2，使光强输出值最小 将带有Nomarski 棱镜的物镜移入光路中，松开调节螺钉，旋转物镜，直到观察到最小的光强输出值并锁紧物镜 第六十二页，共113页 1/4波片、检偏器及棱镜的位置关系图 第六十三页，共113页 Nomarski 棱镜零位的调整 反射光路调整 棱镜零位：棱镜对称轴与成像光轴重合的位置 消除棱镜带入的附加相位 调整过程：将检偏器置于零位且和起偏器消光，移动棱镜，寻找干涉场光强的最大值和最小值，计算中值。 固定检偏器不动，反复微移棱镜，找回光强中值位置，此位置即为棱镜对称轴 第六十四页，共113页 图像采集电路 第六十五页，共113页 CA－MPE－1000黑白图像采集卡及MINTRON MTV-1881EX型（物镜f’=16mm F1.8）CCD摄像机，像敏区域为7.95mm?6.45mm，分辨率为795(h)?596(v) CCD的视频模拟信号作为采集卡输入，经滤波、A/D转换成8bits数字视频信号后，通过PCI总线传送到计算机内存。 第六十六页，共113页 图像采集电路的主要技术指标 A/D采样频率 9MHz-15MHz 图像采集速度： 1～30帧 / 秒 存贮容量： 512 ? 800 ? 8bit图像1幅 图像采集分辨率：768 ? 576 灰度精度： ±1/256 点阵扰动： 不大于3ns 扫描制式： 625行 / 50HZ 第六十七页，共113页 测量实例 第六十八页，共113页 台阶高度测量 测得的台阶高度为32.6nm 第六十九页，共113页 光盘表面凹坑 凹坑的直径为227μm 深度为447.3nm 第七十页，共113页 硅片表面划痕 划痕宽度约为50μm 平均深度为97.3nm 第七十一页，共113页 Ra 测量对比实验 第七十二页，共113页 Talysurf-5P触针仪测量 第七十三页，共113页 水平分辨率 水平分辨率 e = 0.5?/NA 63X 物镜，数值孔径 NA 0.85，水平分辨率0.4μm 10X 物镜，数值孔径 NA 0.25，水平分辨率1.26μm 第七十四页，共113页 垂直分辨率 系统能测出的最小高度变化 最小分辨率已达到了4.6nm 第七十五页，共113页 系统的重复测量精度 第七十六页，共113页 Ra 重复测量精度 样块1的表面粗糙度为▽8（Ra0.32～0.63μm）；样块2为▽10（Ra0.08～0.16μm）；样块3为▽9（0.16～0.32μm） 第七十七页，共113页 第七十八页，共113页 三个样快的Ra 测量重复精度分别为：0.691nm，0.39nm，1.306nm。 第七十九页，共113页 系统的稳定性 第八十页，共113页 孔径光栏：物镜框，限制轴上点的光锥大小，由光学系统对光能量的要求及对物体细节分辨率的要求决定 入射光瞳：与孔径光栏重合 出射光瞳：与眼瞳重合 视场光栏：目镜前焦面上，起限制物方线 视场的作用 入射窗：物面 出射窗：无穷远 光栏： 第三十页，共113页 Nomarski棱镜 由两个光轴互相 垂直的双折射直 角棱镜粘合而成 。两直角棱镜的 光轴都平行于棱 镜表面且相互正 交。 第三十一页，共113页 当光线垂直入射到棱镜上表面时，被第一直角棱镜分裂成传播速度及振动方向不同而光线方向一致的两束线偏振光：一束是振动方向垂直于光轴、折射率为ｎo的寻常光o；另一束是振动方向平行于光轴、折射率为ｎe的非常光e。这两个光波因相速度不同，故随着在晶体中行进距离的增加，它们之间的位相差也就增大。 第三十二页，共113页 当o光与e光行进到棱镜胶合面上时，由于下块棱镜主截面的主轴与上半块棱镜主截面的主轴垂直，所以折射时，o光变成了非常光oe，e光变成了寻常光eo。至此，发生了o光和e光的转换。转换后的两束光自下块棱镜出射时在界面上又折射一次，成为发散光射向显微物镜。oe光与eo光间的微小夹角就是剪切角，一般小于30″，以确保射向物体时两个偏振光的分离量略小于显微镜的分辨率 第三十三页，共113页 投向被测表面的光线经反射后，返回棱镜，并再次发生o光和e光的转换。若以上、下两直角棱镜厚度相等处作为Nomarski棱镜的光轴中心，并设显微镜光轴偏离棱镜中心的距离为a，光线在第一直角棱镜中行进的距离为t1, 在第二直角棱镜中行进的距离为t2，则两束正交偏振光在Nomarski棱镜中的光程差为： 第三十四页，共113页 第三十五页，共113页 当来自起偏器的线偏振