质量流量控制器技术说明书.pdf

质量流量控制器和质量流量计 使 用 说 明 书 1 、 特点及应用领域 质量流量控制器（ Mass Flow Controller 缩写为 MFC）用于对气体的质量流量进 行精密测量和控制。质量流量计（ Mass Flow Meter 缩写为 MFM），用于对气体的质量 流量进行精密测量。 S49 系列质量流量控制器和质量流量计特点： * 采用主体不锈钢（ 316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、 R VITON 、聚四氟乙烯等 * 适用于各种腐蚀性气体 * 气体流量不因温度、压力的变化而失准 * 高精度 * 重复性好 * 响应速度快、软启动、稳定可靠 * 低压降 * 工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作） 。 * 操作使用方便，可任意位置安装 * 便于与计算机连接实现自动控制。 S49 系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域： * 半导体制造行业的气体流量控制 * 分析仪器设备的气体计量与控制 * 各种形式的真空镀膜设备 * 环境检测与分析设备 * 化工、石化、食品行业气体流量监测和控制 * 特种材料表面处理装置与燃烧控制 * 混气配气系统和泄漏探测系统等 2 ．S49 系列质量流量控制器和质量流量计型号 本产品采用中华人民共和国电子行业标准 SJ/T10583-94 以及 SJ37 所规定的通用 技术条件及命名方法。 其中： S49-33/MT 型为高精度质量流量控制器 S49-33A/MT 型高精度质量流量计。 S49-33M/MT 型为普通型质量流量控制器 S49-33BM/MT 型普通型质量流量计。 质量流量计主要精确测量气体流量， 质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还 具备自动控制气体流量的功能。 执行 Q/XCHBY001-2003企业标准 3 ．主要技术指标 质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（ N2 ）标定。 质量流量的单位规定为 : SCCM (标准毫升 / 分); SLM ( 标准升 / 分 ) 标准状态规定为 : 温度 273.15K ( 0 ℃ ); 气压 — 101325 Pa (760mm Hg) F.S (Full Scale): 表示满量程值 表 1 S49-33/MT 型﹑ S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标 编号 项 目 S49-33/MT S49-33M/MT 1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,15,20,30) SLM 2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止位置 常闭 4 准确度 ± 1 % F.S （5sccm~10slm ） ± 2 % F.S 5 线性 ±(0.5~1.5