探针显微分析现代材料物理研究方式.pptVIP

* STM ??基本原理 当间隙s每增加0.1nm时，隧道电流I将下降一个数量级。 STM工作时，针尖与样品间的距离一般约为0.4nm，此时针尖与表面的相互作用可以忽略不计，隧道电流I可更准确表达为 Mur表示隧道矩阵元，f(Eu)为费米函数，V为跨越能垒的电压， Eu表示状态u的能量，u,r表示针尖和样品表面的所有状态。 Mur可表示为 * STM ??基本原理 隧道电流I并非样品表面起伏的简单函数，它表征样品和针尖电子波面数的重叠程度。 有文献将隧道电流I与针尖和样品之间距离s以及平均功函数由之间的关系表示 其中， Vb为针尖与样品之间所加的偏压， Ф为针尖与样品的平均功函数，A为常数，在真空条件下，A近似为l。根据量子力学的有关理论，由上式可算得：当距离s减少0.l nm时，隧道电流I将增加一个数量级，即隧道电流I对样品表面的微观起伏特别敏感。 * STM ??基本原理 精度控制估算： 由 I ∝ exp[- 2 ks] lnI = - 2 ks + 常数 两边微分 ΔI/I = - 2 kΔs 若保持隧道电流 I不变 ΔI/I 在±2％之内 （电路控制可达精度） 设 k≈1?－1，则 Δs ≈ 0.01 ? 表明：针尖至表面距离的控制精度可达0.01 ? * STM ??结构 一般说来，扫描隧道显微镜由扫描隧道显微镜主体、控制电路、控制计算机(测量软件和数据处理软件)三大部分组成。扫描隧道显微镜主体包括针尖的平面扫描机构、样品与针尖间距控制调节机构及系统与外界振动的隔离装置。 常用的STM针尖安放在一个可进行三维运动的压电陶瓷支架上，Lx、Ly、Lz分别控制针尖在x、y、z方向上的运动。在Lx、Ly上施加电压，便可使针尖沿表面扫描；测量隧道电流 I ，并以此反馈控制施加在Lz上的电压Vz；再利用计算机的测量软件和数据处理软件将得到的信息在屏幕上显示出来。 x y z Bias Voltage Position Control Feedback Circuit Current Amplifier X Z * 技术关键 △ 微小距离的移动及控制－压电陶瓷 位移灵敏度在 5? /V 量级 STM针尖半径R 3-10 ? 针尖与表面距离 2-5 ? △ 防震 STM ??结构 * STM ??实验设备 * STM ??实验设备 * STM ??实验设备 压电陶瓷结构： 柱状 管状 双压电陶瓷片 * 结构 三维控制的压电陶瓷： Px和Py上加周期锯齿波电压，使针尖沿表面 作光栅扫描。 利用隧道结电流I反馈，控制加于Pz上的电压来控制s，以保持I不变。 如s↗ → I↘→ Pz上的电压↗→ Pz伸长 → s↘。 VPz(VPx,VPy)曲线为样品表面三维轮廓线。 STM ??结构 * △ XYZ位移器（样品位置细调〕 微小距离移动的精确控制 △ 样品粗调 使针尖与表面的距离，从光学可觉察的距离 (10- 100μm) 调整到100 ? 量级 爬虫（Louse ）结构 精细螺旋机构 △ 防震系统分析 使由振动引起的隧道距离变化 ? 0.001 nm (振动：针对重复性、连续的，通常频率在1－100Hz) STM ??结构 * STM ??工作模式 STM有两种工作方式。一种称为恒电流模式:利用一套电子反馈线路控制隧道电流 I ，使其保持恒定。再通过计算机系统控制针尖在样品表面扫描，即使针尖沿x、y两个方向作二维运动。由于要控制隧道电流 I 不变，针尖与样品表面之间的局域高度也会保持不变，因而针尖就会随着样品表面的高低起伏而作相同的起伏运动，高度的信息也就由此反映出来。这就是说，STM得到了样品表面的三维立体信息。这种工作方式获取图象信息全面，显微图象质量高，应用广泛。 * STM ??工作模式 另一种工作模式是恒高度工作:在对样品进行扫描过程中保持针尖的绝对高度不变；于是针尖与样品表面的局域距离 s 将发生变化，隧道电流I的大小也随着发生变化；通过计算机记录隧道电流的变化，并转换成图像信号显示出来，即得到了STM显微图像。这种工作方式仅适用于样品表面较平坦、且组成成分单一(如由同一种原子组成)的情形。 从STM的工作原理可以看到：STM工作的特点是利用针尖扫描样品表面，通过隧道电流获取显微图像，而不需要光源和透镜。这正是得名扫描隧道显微镜的原因。 * 1．表面形貌测量及其分辨率 假设样品表面存在陡变台阶