带有铁磁芯的螺线电感及其制备方法与流程.docxVIP

PAGE PAGE 1 带有铁磁芯的螺线电感及其制备方法与流程 本发明属于集成电路创造技术领域，特殊是涉及一种带有铁磁芯的螺线电感及其制备办法。背景技术：带有铁磁芯的螺线电感有旭东用途，譬如，磁通门传感器、微型变压器等等。目前，带有铁磁芯的螺线电感主要是通过漆包线在铁磁芯上绕制而成，而这种螺线电感的电感值全都性较差。随着技术的进展，目前也有基于mems技术来制备螺线电感，目前基于mems技术制备的螺线电感普通是采纳电镀或倒装焊的方式来实现，但这种工艺比较复杂，不适合批量生产。技术实现要素：鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种带有铁磁芯的螺线电感及其制备办法用于解决现有技术中的螺线电感存在的电感值全都性较差的问题，以及制备工艺比较复杂，不适合批量生产的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种带有铁磁芯的螺线电感的制备办法，所述带有铁磁芯的螺线电感的制备办法包括如下步骤：1)提供第一基底，所述第一基底包括相对的第一表面及其次表面；2)于所述第一基底的第一表面形成凹槽；3)提供其次基底，所述其次基底包括相对的第一表面及其次表面；将所述其次基底与所述第一基底键合在一起，以使得位于所述第一基底与所述其次基底之间的凹槽形成容纳孔；所述其次基底的第一表面与所述第一基底的第一表面为键合面；4)于所述第一基底及所述其次