大宗特殊气体供应系统的制作方法.docxVIP

PAGE PAGE 1 大宗特殊气体供应系统的制作方法 1.本有用新型涉及特别气体供给技术领域，详细涉及一种大宗特别气体供给系统。背景技术：2.随着半导体产技术的不断更新换代，各芯片创造工厂和液晶面板厂的产能也逐渐增大，同时各工厂对特别气体的需求量亦随之增强。依据特别气体的平安存储管理规定，存储量较大的特别气体需在生产厂房之外单独建立特别气体站，且特别气体站与生产厂房及人员密集区应保持一定的平安距离。目前大宗特别气体供给系统由气体存储设备、瓶头接口箱、深度吹扫箱、主供给柜四个主要功能模块组成，并由气体管道顺次衔接；气体存储设备采纳1+1 形式的y型钢瓶(水容积为440l的钢瓶)供给，频繁更换气瓶导致延续供气能力不能满足生产需要，还增强操作者的工作量和危急性。技术实现要素：3.1、有用新型要解决的技术问题4.针对频繁更换气瓶导致延续供气能力不能满足生产需要的技术问题，本有用新型提供了一种大宗特别气体供给系统，它增强了存储设备的数量，提高持续供气的能力。5.2、技术计划6.为解决上述问题，本有用新型提供的技术计划为：包括深度吹扫箱组和主供给柜，所述深度吹扫箱组和主供给柜通过气体管道衔接起来，所述深度吹扫箱组为两套，所述每套深度吹扫箱组包括起码两个并联设置的深度吹扫箱，所述每个深度吹扫箱设有瓶头接口，所述瓶头接口用于衔接气体储存设备。7