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第五章 光功能高分子材料_光致抗蚀剂 ⑸ 易剥膜性 在光刻和电成型的加工之后需要剥膜去除抗蚀剂，此时必须是不侵蚀金属，仅去除抗蚀剂。 影响感光性高分子材料的性能的因素： 膜厚度：增加膜的厚度，感度和分辨力均有所降低； 高分子材料的分子量和分子量分布：分子量越大，感度越高，但分辨力下降，而分子量分布越窄则有利于感度和分辨力的提高。 显影液的组成和配比：对于同一种感光性高分子材料，显影剂不同，光刻精度也不同。 第六十三页，共123页 第五章 光功能高分子材料_光致抗蚀剂 5.3.2 负性抗蚀剂（光刻胶） 负性抗蚀剂的作用原理：利用光照使光致抗蚀剂（感光胶）发生光聚合或者光交联反应，生成的聚合物溶解度大大下降，在显影时留在氧化层表面。 包括：分子链中含有不饱和键或可聚合活性点的可溶性聚合物，它们在光敏剂存在时，在紫外光的作用下可产生交联或聚合反应，使其溶解度下降。 一、聚乙烯醇肉桂酸酯类 聚乙烯醇肉桂酸酯：由聚乙烯醇与肉桂酰氯反应制得的光二聚型感光高分子 第六十四页，共123页 第五章 光功能高分子材料_光致抗蚀剂 聚乙烯醇肉桂酸酯的合成 其光二聚化反应 第六十五页，共123页 第五章 光功能高分子材料_光致抗蚀剂 其他类型的负性光致抗蚀剂：聚乙烯氧肉桂酸乙酯、聚对亚苯基二丙烯酸酯、聚乙烯醇肉桂叉乙酸酯、聚乙烯醇（N-乙酸乙酯）氨基甲酸酯-肉桂叉乙酸酯、肉桂酸与环氧树脂形成的酯类，其作用原理与上述过程基本相同。 聚乙烯醇肉桂酸酯的特点：性能优良，但它的显影剂是有机溶剂，柔韧性及附着力还需进一步改进。 改性产品：如聚乙烯醇的肉桂酸-二元酸混合酯（可用碱水显影）、乙烯-乙烯醇共聚物的肉桂酸酯（柔韧性较好），环氧树脂的肉桂酸酯（附着力好）等。 第六十六页，共123页 第五章 光功能高分子材料_光致抗蚀剂 OSR：一种改性产物，其感度更高，比KPR大2~6倍, 作为光刻胶其分辨率可达1μm左右。在肉桂酰基与乙烯基之间引入了苯基或烷基的烯类单体，如肉桂酸乙烯氧基乙酯，然后溶于甲苯中，通氮，在低温下以BF3·OEt2为催化剂进行阳离子聚合，制得了聚肉桂酸乙烯氧基乙酯。 第六十七页，共123页 第五章 光功能高分子材料_光致抗蚀剂 通过将感光性化合物结构中感光基团的共轭体系增长，可改变其最大吸收波长。 如将聚乙烯醇用肉桂叉乙酰氯酯化就得到聚乙烯醇肉桂叉乙酸酯，其光吸收可伸展到紫外区的420nm。如果再向这类光刻胶中加入适当的光敏剂，其感光波长还会向长波长范围延伸，而成为高感度的光致抗蚀剂。 第六十八页，共123页 第五章 光功能高分子材料_光致抗蚀剂 也可以向其中加入光敏剂以提高光引发效率，使之可以在波长更长的近紫外光区进行反应。 表5-7 聚乙烯酸肉桂酸酯常用的光敏剂 增 感 剂 相对感度 吸收峰值/nm 感光波长边值/nm 无 2.2 320 350 5-硝基苊 184 400 450 蒽醌 99 320 420 4, 4’-四甲基-二胺基苯甲酮 640 380 420 1, 2-苯并蒽酮 510 420 470 对硝基苯胺 110 370 400 第六十九页，共123页 第五章 光功能高分子材料_光致抗蚀剂 二、环化橡胶 环化橡胶：以顺聚异戊二烯为基本原料，通过环化反应生成树脂状的聚合物。 光敏剂：双叠氮类化合物，如2,6-双-(4-二叠氮苯亚甲基)环已酮，2,6-双-(4-二叠氮苯亚甲基)-4-甲基环已酮等。 环化橡胶-双叠氮化合物的感光交联机理：双叠氮化合物被光照分解产生氮气，生成非常活泼的中间体即双亚氮化合物 双亚氮化合物能与环化橡胶的双键高速进行反应，生成立体网状交联结构 第七十页，共123页 第五章 光功能高分子材料_光致抗蚀剂 特点：分辩力高，溶解性好，通过精制有可能达到接近光照射时界限的分辨力（2～3μm），它具有优异的耐腐蚀性，良好的粘附性，可广泛用于硅、二氧化硅、铝、钼、铜、铬、不锈钢及石英材料的刻蚀。 二元预聚物组成的负性光刻胶：两种预聚体（如线型预聚物和交联剂组成）参与光聚合或光交联反应，形成网状不溶性保护膜；或通过加入两种以上的多功能基单体与线性聚合物混合，受到光照时胶体内发生光聚合反应，生成不溶性网状聚合物，将可溶性线性聚合物包裹起来，形成不溶性膜保护硅氧化层。 如不饱和聚酯，可以和单体苯乙烯-丙烯酸酯，或其它双功能基单体，如二乙烯苯、N,N-亚甲基双丙烯酰胺、双丙烯酸乙二醇酯和安息香光敏剂等配制成负性光致抗蚀剂。这类光刻胶已用于集成电路和印刷制版工艺。 第七十一页，共123页 第五章 光功能高分子材料_光致抗蚀剂 5.3.3 正性光致抗蚀剂（光刻胶） 作用原理：光降解。 如酸催化酚醛树脂，其作用原理是当树脂中加入一定量光敏剂时，曝光后光敏剂发生光化学反应，使光致抗蚀剂从油溶性转变为水溶性