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PAGE PAGE 1 电磁式振动能量收集器及其制备方法与流程 【技术领域】本发明涉及一种收集环境中振动能量的能量收集器及其制备办法，尤其涉及一种基于电磁感应原理的能在宽频带范围高效收集环境中振动能量的电磁式谐振型振动能量收集器及其制备办法。背景技术：能量收集器可拾取环境能量(如辐射、温差、振动等)并转化为电能为系统供电。与传统的电化学电池比较，能量收集器具有经济、环保且理论上无寿命限制等优点，因此符合能源的将来进展趋势，十分适合于为物联网、可穿戴设备等新兴领域提供电能。太阳能、电磁辐射、温差、振动等都是可拾取的环境能源，与其它环境能源相比，振动是一种分布广泛的能量源，因此，振动能量收集器具有广大的进展和应用前景。在各种类型的振动能量收集器中，基于法拉第电磁感应原理的电磁式振动能量收集器的进展最为成熟。一个典型的电磁式能量收集器主要由电感线圈和永磁体两部分构成，其中，电感线圈(或永磁体)设置在悬臂梁等可动结构上，而永磁体(或电感线圈)则设置在固定结构上，在振动环境中，电感线圈和永磁体发生相对运动，进而在电感线圈中产生感应电流。为了提高能量收集效率，要求该类电磁式能量收集器工作在谐振状态附近(即要求能量收集器中拾振结构(如悬臂梁等)的固有频率临近环境中的振动频率)，但是，环境中的振动具有频带宽且多变的特点，另一方面，目前的电磁式振动能量收集器通常只存在单一的谐振结构(或谐振频率)，因此，它的能量收集效率较低。因此，有须要提出一种新的电磁式振动能量收集器。技术实现要素：基于上述问题，本发明提供了一种电磁式振动能量收集器，其包括：互相堆叠的第一衬底、其次衬底和第三衬底；所述第一衬底、所述第三衬底经刻蚀分离形成第一、其次悬臂梁结构，其中所述第一衬底的下表面形成有第一凹槽、所述第一凹槽上方为第一悬臂梁结构，所述第三衬底的上表面形成有其次凹槽、所述其次凹槽下方为其次悬臂梁结构；所述其次衬底的上、下表面相对应的位置形成有第三凹槽和第四凹槽，所述第三凹槽和所述第四凹槽之间间隔其次衬底薄膜；所述第三凹槽中设置有永磁体；所述第一凹槽与所述第三凹槽相对堆叠，所述其次凹槽与所述第四凹槽相对堆叠；所述第一悬臂梁结构的外侧表面设置有第一电磁拾振结构，所述其次悬臂梁结构的外侧表面设置有其次电磁拾振结构。优选地，还包括设置在所述第一悬臂梁结构末端的第一质量块，和/或还包括设置在所述其次悬臂梁结构末端的其次质量块。优选地，所述第一电磁拾振结构包括设置在所述第一悬臂梁表面的第一电感线圈层；和/或所述其次电磁拾振结构包括设置在所述其次悬臂梁表面的其次电感线圈层。优选地，所述第一凹槽、所述其次凹槽、所述第三凹槽、所述第四凹槽的表面设置有绝缘层。优选地，所述第一、其次电感线圈层与所述第一衬底和所述其次衬底之间均设有绝缘层。本发明还提出了一种电磁式振动能量收集器的制备办法，其包括以下步骤：挑选第一衬底，刻蚀所述第一衬底的下表面，形成第一凹槽结构；在所述第一衬底与所述下表面相对的上表面沉积并刻蚀形成第一电感线圈层；刻蚀所述第一衬底的上表面，形成第一悬臂梁结构；挑选其次衬底，刻蚀所述其次衬底的上、下表面，形成第三凹槽结构、第四凹槽结构，所述第三凹槽结构和所述第四凹槽结构间隔残留的所述其次衬底薄膜相对设置，形成方形膜结构；在所述其次衬底的上表面形成的所述第三凹槽结构内安装永磁体；挑选第三衬底，执行与所述第一悬臂梁结构相同的制备步骤形成其次悬臂梁结构；其中所述第三衬底的上表面形成有其次凹槽、所述其次凹槽下方为其次悬臂梁结构；将所述第一衬底的第一凹槽结构正对所述其次衬底的第三凹槽结构、所述其次衬底的第四凹槽结构正对所述第三衬底的其次凹槽结构举行组装，制成所述电磁式振动能量收集器。优选地，在所述第一凹槽结构、所述其次凹槽结构、所述第三凹槽结构、所述第四凹槽结构表面沉积绝缘层。优选地，所述制备办法还包括以下步骤：在所述第一悬臂梁结构末端、所述其次悬臂梁结构末端安装质量块。优选地，所述组装包括键合工艺。优选地，所述第一悬臂梁结构和所述第一电感线圈层之间沉积有绝缘层。本发明的有益效果是：(1)本发明能量收集器的具有三组不同谐振频率的拾振结构，可以实现对环境中的振动举行宽频带、高效率的拾取，采纳两组电感线圈举行能量收集，这进一步提高了收集器的能量收集效率和输出功率；(2)具有结构紧凑、输出功率密度高(w/cm2)及易于小型化的优点；(3)采纳mems技术制备，能量收集器还具有尺寸小、精度高、全都性好、易于批量创造、创造成本低的优点。【附图解释】图1为为本发明的电磁式振动能量收集器的剖面结构暗示图；图2为本发明的电磁式振动能量收集器中第一电感线圈层的平面结构鸟瞰图。图中：10、第一衬底，11、