半导体电阻率测量实验.docx

试验三 四探针法测量半导体电阻率、薄层电阻 一. 试验目的与意义 电阻率是半导体材料的重要电学参数，它能反映半导体内浅能级替位杂质的浓度。薄层 电阻是用来表征半导体掺杂浓度的一个重要工艺参数，也可用来表示半导体薄膜的导电性。测量电阻率和薄层电阻的方法有很多种，如二探针法、扩展电阻法等。而四探针法是目前广 泛接受的标准方法，它具有操作便利，精度较高，对样品的几何外形无严格要求等优点。 本试验的目的是使同学把握四探针法测量半导体电阻率和薄层电阻原理、方法；生疏四探针测试仪；并能针对半导体样品的不同几何尺寸进行测量数值的修正。 二. 试验原理 设样品电阻率ρ均匀，样品几何尺寸相对于探针间的距离可看