失效分析检测利器——超声波扫描显微镜——西努光学.docxVIP

Cinif 3 失效分析检测利器一一超声波扫描显微镜 超声波扫描显微镜.英文名是：Scanning Acoustic Tomograph ,简称SAT. 超声波扫描显微镜原理： 通过发射高频超声波传递到样品内部，在经过两种不同材质之间界面时，由于不同材质的声阻抗不同，对声波 的吸收和反射程度的不同，进而采集的反射或者穿透的超声波能量信息或者相位信息的变化来检查样品内部出 现的分层、裂燮或者空洞等缺陷. Cinv 上海西努光学科技p—??， 上海西努光学科技 超声波扫描显微镜的应用领域： 半导体电子行业：半导体晶圆片、封装器件、大功率器件IGBT、红外器件、光电传感器件、SMT贴片器件、 MEMS 等； 材料行业：复合材料、遮膜、电谖、注塑、合金、超导材料、啕瓷、金属焊接、摩擦界面等； 超声波扫描显微镜应用范围: 非破坏性、无损检测材料或IC芯片内部结构 可分层扫描、多层扫描 实时、直观的图像及分析 缺陷的测量及缺陷面积和数量统计 可显示材料内部的三维图像 可检测各种缺陷（裂纹、分层、夹杂物、附假设物、空洞、孔洞等） 陶瓷电容