[微传感器技术 哈工大]课件3-4(压阻).pdfVIP

第三章 力学量传感器 力学量包括以下三类： ① 几何学量，如位移、形变、长度、距离、位置、 尺寸 （长、宽、高）、厚度、深度等有长度量纲的量， 以及角度、角位移等有角度量纲的量； ② 运动学量，如速度、加速度、角加速度，是几 何学量的时间函数； ③ 狭义力学量，指质量、力、力矩、应力、压力 等狭义的力学量。 这些物理量的测量都与机械应力有关，所以把测量 这些物理量的器件统称为力学量传感器，也称力敏传感 器。 2007 力敏传感器指对力学量敏感的一类器件或装置。