[微传感器技术 哈工大]课件1(绪论).pdfVIP

第1章 绪论 随着微加工技术的不断进步,以微、纳米加工工艺为核心技 术的微传感器(microsensor)成为一个重要发展方向.与传 统意义上的传感器相比，微传感器的体积很小，敏感元件 的尺寸一般在0.1~100 μm之间。然而，微传感器并不仅仅 是传统传感器按比例缩小的产物，在理论基础、结构工艺、 设计方法等方面，都有许多自身的特殊现象和规律。 微传感器的学科跨度很大，对微传感器知识的学习、研究 与应用，需要涉及多个领域的专业知识。 2007 1.1微电子与微传感器