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[doc] 氧化镨陶瓷湿度传感器 氧化镨陶瓷湿度传感器 o^^ o (传感技术). VvvvO 氧化谱陶瓷湿度传感器 西川治良等人 采用多孔陶瓷,高分子电解质,阳极氧 化薄膜等材料制作的常温工作型湿度传感器 的研究情况已经有过很多报导.其中绝大多 数是利用电学性质,尤其是电阻髓湿度而变 的原理制成的. . 笔者曾经报导过稀土类金属镧(LB), 钕(Nd),钆(Gd)的阳极氧化膜表面电 盟随湿度而变的情况.根据上述试验结果, 笔者测量了稀土类氧化物一一氧化错陶瓷因 湿度而引起的电阻变化.测定结果表明,其 电阻髓湿度变大而增大. 二,实验 将PrC1l?7HO(纯度999%)溶于去 离子水中,使之变成溶液,再将碳酸钠水溶 傲边搅拌.边慢慢加入其中,使氢氧化错沉 淀.经反复洗涤,直到上层澄清液的cr不 与AgNO.溶液发生(检出)反应为止,再 经过滤,干燥之后,放入马弗炉中以各种不 同的温度熔烧,最后以烧结而成的氧化错粉 末作为元件材料. 采用离子阴极真空溅射法在氧化铝基板 (io×2O×0.5turn)上制作铂一金梳状电 极,再用银钎焊料将铜线焊接在两电极上. 先将氧化镨粉末放入玛瑙乳钵中细粉碎 并用少量的去离子水将其搅拌成糊状,然后 将它涂敷在上述装有铂一金梳状电极的氧化 铝基板上.经一昼夜风干后,再放入马弗炉 中