高能束表面改性技术.pptVIP

* 离子束加工所用的各种元素的离子，一般都可以通过气体放电而产生 气体放电时。电子与气体原子发生碰撞而使其电离，从而得到等离子体。 从宏观上看，等离子体表现出电中性。因而，只要采用一个相对于等离子体为负电位的电极，就可以从等离子体中引出正离子，并使其加速运动，获得足够动能。 离子束的产生过程如图所示。将选定的某种元素的原子在离子源1中电离成离子。然后经引出电极，进入加速系统2。 经过离子加速器的作用，即在10～500kV高压的作用下，使每个离子得到能量qV。 通过选分系统3将能量为qV的不同质量的离子偏转不同的角度，从中选分出特定能量和质量的单一种离子。 分选出的离子再经过聚焦磁场4和扫描磁场5进入工作室，并作用在工件6上。 * 离子束处理要求在中空状态下进行 为了减少离子束流在沿着预定的路径前进中不与其它物质发生碰撞，形成传输损失，从形成离子到作用在工件上的全过程中，整个系统都必须保持真空状态。其真空度要求至少为 1.33×10-3～1.33×10-5Pa。 * 任何离子束设备的关键部位都是离子源。而离子源的关键是要能够提供均匀的高密度的等离子体，这可以通过两种途径来实现。 (1)金属材料 如 Cr Cr Cr (固) (气)Cr+（等离子体） （2）气体材料 如N2 N2 N+（等离子体）+ N2+