薄膜的电学性能金.pptxVIP

1;第五章  薄膜的电学性能;金属膜是在电子学领域中应用最为广泛的一种薄膜。例如，半导体的电路、各种集成电路中的导线和电极、电阻器、电容器、超导器件和光通信用元器件等。本章主要介绍金属薄膜的电性能及其特性，并以自由电子理论为基础对各种电学性能进行解释。;材料的电学性能内容是很广泛的，对于金属薄膜来说，主要测量了某些与导体传输现象有关的电学性能，即 1、电阻率ρ或者是电导率σ； 2、磁阻ρ′H； 3、霍尔系数RH； 4、热电能S。;薄膜的电学性能之所以具有特殊性，主要是由两个原因所引起： （一）是结构缺陷效应，即薄膜在形成时它是由气相经过急剧的相变形成固相的，在这一特殊的过程中引起了结构缺陷（这里所说的结构缺陷除了通常的晶格缺陷、晶格畸变、杂质等外，还包括极薄的薄膜所特有的岛状结构）。 （二）是尺寸效应，这是由于薄膜的厚度很薄而产生的，这一尺寸效应包括经典的电子表面散射效应和量子尺寸效应两种。;在测量薄膜的电学性能时，最常用的参变量有膜厚d，温度t，电场强度E，薄膜的形变ε等。图4－1所示的是一个在测量薄膜电学性能时电极配置的例子。 ;最基本的测量参数仍然是电阻率ρ或者是由电导率σ，不少的研究人员已经把lnρ与d、ρ与1/d、lnρ与1/T、lnρ与 、ρ与ε等的关系画成了曲线，并据此进行了导电机理的研究。目前正在进一步深入地研究ρH、RH