轮廓仪作业指导书.pdfVIP

威海华邦精冲科技股份有限公司 文件编号 WHB/WD760103-07 文件名称 轮廓仪作业指导书 版本 A 页次 1/3 1 目的 为使轮廓仪的精度和准确性达到规定的要求 ,保证测量系统的可靠运转， 同时 有效指导检测人员正确使用仪器，特制订此文件。 2 范围 适用于所有需要轮廓仪执行的测量作业。 3 定义 无 4 职责权限 品管部负责轮廓仪的管理工作，负责使用轮廓仪对工件进行测量。 5 主要技术参数 测量范围 100mm 分辨率 0.1 μm 驱动速度 电动（ 0-20mm/s） 测量速度 0.02-5 mm/s 测量方向 向后 X 轴 2.5 μm /100mm 直线度 * 当 X 轴在水平方向上 指示精度 ±（2.5+2L/100 ） μm （20℃） L 为驱动长度（ mm） 倾斜范围 ±45° 测量范围 50mm 分辨率 0.1 μm 指示精度 ±（2.5+I0.1HI ） μm） （20℃） H为水平位置上的测量高度± 25mm以内 Z1 轴 探针方向 向下 测力 30 ±10mN 向上 77° 跟踪角度 向下 87° 尺寸 745 x 450 x 885mm 基座材料 花岗岩 重量 145.8kg 6 作业内容 6.1 实验前准备 Weihai Huabang Fineblanking Co., Ltd. 威海华邦精冲科技股份有限公司 文件编号 WHB/WD760103-07 文件名称 轮廓仪作业指导书 版本 A 页次 2/3 6.1.1 开启电源，确保电源的电压 . 频率，是否接地。 6.1.2 观察环境的温度 . 湿度，确认温度在 20°附近并保持稳定。 6.1.3 清洁仪器，运行导轨可用酒精和花岗石工作台用酒精清洁干净。 6.2 压力调试 6.2.1 把校正表水平放置载物台上，用载物台的台钳轻轻夹住，让探针接触校正 表（位置在校正表凹点向内 2-3mm），旋转驱动器上下调节手轮至计数器上 Z1 数 据为 0，（打开软件新建一个窗口看 Z1 数据，看软件左侧刻度）读取校正表数值。 6.2.2 校正表读数在 30±10mmN以内 OK，如不在则调整。 6.2.3 调整时打开砝码下面驱动器上的盖板，松开砝码上的锁紧螺钉左右调节至 校正表读数在 3