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3D表面粗糙度的测量方法分析 [摘要]近二十年内，精密和超精密加工技术对表面质量、性能的评价提出了越来越高的要求，并且希望在三维范围内“完整、全面”地表征表面的形貌；而微纳米测量技术、光电子和计算机技术的发展，给三维表面微观形貌的分析奠定了坚实的基础，致使这方面的研究十分活跃。本文旨在对目前几种常见的三维表面测量方法的基本原理、特征及应用范围作一简单的介绍和分析。 关键词：表面粗糙度　测量　表面形貌　三维形貌 [Abstract]In recent years, precision and ultra-precision machining techniques have more and more higher demands for the evalution of quality and performance of workpiece surfaces, and require to measure 3D topography of the surface perfectly. The development of micro-nano-meter measurement, photoelectron and computer technique establishes the strong base for the analysis of 3D surface microtopography. This makes the researches interest in the 3D surface analysis increasingly. This paper simply introduces the fundamental principles, characteriatics and applied range of some common 3D surface measuring methods. Keywods: surface roughness　measurement　surface topography　3D topography 　　用于表面微观形貌分析的测量系统，按基于不同的物理原理，可将它们分为参数方法和轮廓方法。参数法所产生的参数表示所检测表面的一些平均性能；而轮廓法逐点扫描获得形貌信息。轮廓法被认为是可以测量真实的3D形貌，给出相对于位置高度的定量信息。 　　按传统的分类方式，表面测量又可分为接触式和非接触式。触针式仪器是典型的接触方法，而光学仪器是非接触式方法，扫描探针显微镜既是接触式又是非接触式。 1　触针方法 　　触针法自1927年以来就一直被采用，目前仍然被广泛地用于表面粗糙度测量，而且用它所获得的结果经常作为评价其它方法的参考标准。 　　在传统的2D测量中，触针装在具有滑橇的测杆上，沿一个方向在水平面上“爬行”，而且它的垂直位移是相对于滑橇的位置。滑橇”走过”的迹线作为基准线。 　　在3D分析中，在具有同一个采样步距的平行平面内，测得许多轮廓。这种情况下，不能使用滑橇，因为所有的轮廓必须具有相同的参考基准面，以便不丢失信息。严格地讲，应采用一个独立的表面作为基准。由于同样的原因，数据在获取过程中，不能象在2D仪器中那样被滤波。如果需要滤波，可以在获取数据以后进行数字化滤波。应该注意的是，对于2D仪器新的标准同样也需要一个独立的基准。 　　当用X-Y平台获取三维表面的z值时，基准由工作台的移动而产生。移动精度在整个的测量精度中起着基准的作用。有些制造者给出平台的偏差图，以便使用数字技术校正基准。 　　在2D和3D分析中，触针的几何形状对于测量的准确性影响很大，而且一直是设计和制造者考虑的重要因素之一。它的形状以锥角和顶尖球半径R表示[1]；的标准值是60°和90°，R的标准值是2、5和10m;三种半径的最大载荷分别是0.7、4、16mN。 　　针尖中心点的坐标被认为是测量表面点的坐标，但是实际的接触点根据表面邻近点的形状和高度而变化。在假定触针和表面均是刚性的情况下，触针具有一个自由度，其垂直位移仅由与表面的点接触而定义。然而，这些点的顺序不是包含在一个垂直平面内，而是依赖于表面的斜率分散在一个“带”内，测量误差是表面结构的函数。在对随机的、各向异性的结构表面进行分析时，如磨削表面，Whitehouse[2]指出用2m的半径触针并未减少表面的RMS值，而使用10m的半径触针却减少10%～15%。 　　一些描述表面形状的参数直接受触针的几何形状的影响，例如： 　　①针尖的半径R增加了峰的半径，而减少了谷的半径； 　　②触针加到表面上的力，在与表面接触的区域产生应变； 　　③由较硬的材料组成触针，可以忽略弹性应变，但是被测试件仍有显著的弹-塑性变形。 　　如果接触力F小于极限值FL,