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微系统技术 在微系统技术微系统技术的发展历史上，集成电路（IC）是技术的起点。电 子器件小型化和多功能信成是微加工技术的推动力。如果没有微加工和小型化技 术的迅猛发展，许多今天看来理所当然的科学和工程成就都不可能实现。 微系统技术是由集成电路技术发展而来的，经过了大约 20年的萌芽阶段， 即由20世纪60年代中期到20世纪80年代。在这段萌芽时期，主要是开展一些 微系统技术的零散研究。例如，开发了硅各向异性腐蚀技术用于在平面硅衬底上 加工三维结构；一些研究机构和工业实验室里的研究者开始利用集成电路的加工 技术制造微系统技术器件，例如悬臂梁、薄膜和喷嘴；微传感器的关键部件，如 单晶硅和多晶硅中的压阻被发现、研究和优化。 在微系统技术的研发时期，涌现出了一些具有重要意义的研究成果。 1967 年，Westinghouse公司发明了一种谐振栅晶体管（RGT。它与传统的晶体管不 同，RGT勺电栅极不是固定在栅氧化层上，而是相对硅衬底可动。由静电力控制 栅电极和衬底之间的间距。RGT是静电微执行器的最早实例。 佳能公司最早开发了基于热气泡技术的喷墨打印技术，而惠普公司在 1978 年首先发明了基于硅微机械加工技术的喷墨打印机喷嘴。 喷嘴阵列喷射出热气泡 膨胀所需液体体积大小的墨滴，如图1-1所示。气泡破裂又将墨汁吸入到存放墨 汁的空腔中，为下一次喷墨做准备。通过滴入红、蓝、黄三种基本色实现彩