磨料水射流抛光技术的研究现状 .docVIP

磨料水射流抛光技术的研究现状 　　1 引言 　　 　　磨料水射流是自19世纪80年代迅速发展起来的一种新技术，和传统加工技术相比，它具有加工时无工具磨损、无热影响，反作用力小、加工柔性高等优点，目前已被广泛应用到多种加工行业，用于加工陶瓷、石英、复合材料等多种材料。 　　磨料水射流抛光技术是在磨料水射流加工技术的基础上发展起来的集流体力学、表面技术于一体的一种新型精密加工技术。目前，国内外对于它的研究还比较少，只有少数学者进行了探索性实验研究，尚未形成系统的研究成果。 　　 　　Hashish对于磨料液体射流抛光金刚石薄膜的可行性进行了探索性实验，通过实验发现，利用600目的SiC磨料可以将金刚石薄膜从3μm抛光到1.3μm。Fahnle，Oliver W等人利用液体磨料射流抛光平板玻璃时，玻璃表面粗糙度从初始的475nm降低到5nm。Booij、 Silvia M.等人在磨料液体射流抛光玻璃过程中，通过调整主要工艺参数（如加工时间、磨料浓度、磨料尺寸和靶距等），发现材料去除速度有可能控制在1nm/min范围内。Booij、 Silvia M.和Fanle、Oliver W.等人通过实验发现，在磨料液体射流抛光过程中，通过调整喷嘴的运动轨迹，可以得到面形精度为N10的平面。Messelink、 Wilhelmus A. C. M.利用实验验证了磨料液体射流可以对球面进行预抛光和