作业指导书吴桥电器电镀部分.docVIP

PAGE1 / NUMPAGES24 吴桥电器厂 作 业 指 导 书 编号：Q/GIN.ZN-A007-04 拟制：叶平生 日期：2010.12.01 审核：徐兴荣 日期：2010.12.01 批准：陈黎明 日期：2010.12.01 PAGE2 / NUMPAGES24 吴桥电器厂 电 镀 部 分 中 南 电 子 化 学 材 料 所 JULY 2008 PAGE3 / NUMPAGES24 吴 桥 电 器 厂 吴 桥 电 器 厂 版本： A 日期： 2008.7 操作手册目录 1、CS系列化学药水 2、辅助化工原料 3、CS系列产品储存条件 4、板电及图电流程顺序 5、开缸程序 5.1新开槽开缸准备 5.2开缸资料表 5.3开缸程序 6、操作参数 6.1物理操作参数 6.2化学操作参数及分析频率 7、流程控制及维护 8、故障排除指导 PAGE4 / NUMPAGES24 吴 桥 电 器 厂 吴 桥 电 器 厂 版本： A 日期： 2008.7 一、CS系列化学药水 1、酸去油剂 CS-4-A 2、酸去油润滑剂 CS-4-B 3、蚀刻稳定剂 CS-1-A 4、铜光泽剂 CS-14-E 5、锡铅添加剂 CS-15 二、化学药品 2.1辅助化工原料 2.1.1 硫酸，分析纯 (d=1.84)。 2.1.2 盐酸，分析纯。 2.1.3 磷铜阳极. 2.1.4 锡铅阳极 2.2 辅助化工原料规格 2.2.1 硫酸，分析纯 项 目 规 格 H2SO4 90-100%(重量比) 20℃时密度（g/cm3） 1.835-1.945 氯离子 最大0.5ppm 铁离子 最大0.5ppm PAGE5 / NUMPAGES24 吴 桥 电 器 厂 吴 桥 电 器 厂 版本： A 日期： 2008.7 2.2.2 盐酸，分析纯 项 目 规 格 盐酸含量 37.5%(重量比) 20℃时密度（g/cm3） 1.16-1.20 重金属含量 最大1.0ppm PAGE6 / NUMPAGES24 吴 桥 电 器 厂 吴 桥 电 器 厂 版本： A 日期： 2008.7 2.2.3 铜阳极规格 元 素 规 格 Cu 99.9%，free of Cu2O P 0.04-0.06% Pd Max,0.001% Bi Max,0.002% As Max,0.0003% Sb Max,0.0003% Sn Max,0.0003% Zn Max,0.001% Fe Max,0.003% Ni Max,0.0008% Ag Max,0.001% Se Max,0.0006% S Max,0.01% PAGE7 / NUMPAGES24 吴 桥 电 器 厂 吴 桥 电 器 厂 版本： A 日期： 2008.7 三、CS系列产品储存条件 产品 最长储有时间（月） 储有温度（℃） Cs-4-A 24 -5～60℃ Cs-4-B 36 -5～60℃ Cs-1-A 24 -5～40℃ Cs-14-E 24 -5～40℃ Cs-15 24 -5～40℃ 备注：所有化学品必须避免光照。 PAGE8 / NUMPAGES24 吴 桥 电 器 厂 吴 桥 电 器 厂 版本： A 日期： 2008.7 四．板电及电流程顺序 4.1板电流程顺序 Stage Process Sequence Dip Time(min) Dip Time(sec) 1 2 预浸 电镀铜 0.5～1 15～25 10 10 PAGE9 / NUMPAGES24 吴 桥 电 器 厂 吴 桥 电 器 厂 版本： A 日期： 2008.7 4.2 图电流程 Stage Process Sequence Dip Time(min) Drip Time(Sec.) 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 18 19 酸去油 水洗 I水洗 微蚀 水洗 水洗 预浸 电镀铜 水洗 水洗 预浸 电镀锡铅 水洗 水洗 上下板 剥挂具 水洗 水洗 3～5 1～2 2～3 1～2 1～2 1～2 0.5～1 40～60 1～2 2～3 0.5～1 10-20 1-2 1-2 4-10 1-2 10 / 10 5 / 10 10 10 / 10 10 10 / 10 10 10 PAGE10