人造宝石刚玉晶体材料的激光微孔技术研究.docVIP

人造宝石刚玉晶体材料的激光微孔技术研究 通过理论分析和实验研究，探讨了人造宝石刚玉晶体材料微孔激光加工工艺参数中激光脉冲的能量、脉冲宽度、离焦量、脉冲激光的重复频率对微孔直径和孔深的影响，确定了微孔激光加工工艺参数的有效匹配组合方法。 1 引言 随着宝石刚玉晶体的合成生长技术的较快发展，品质优良大体积的人造宝石刚玉晶体材料越来越多。人造宝石刚玉晶体是一种具有良好热、电、电子、光学、超硬脆性能的材料，用其制造的精密微孔元件近年来广泛用于机械电子、生物医疗、航空航天以及光电技术等领域，但其可加工性较差，易产生“裂纹”和“崩豁”缺陷，要用其制作精密微孔元件，微孔加工工艺及确定相应参数的研究是很有意义的。目前在红宝石微孔加工方面领先是瑞士，在蓝宝石精密平面加工方面有较大优势是日本和美国，而我国在宝石刚玉晶体材料还处于初级水平。本文结合宇航用氧气精密控制阀中精密红宝石阀芯研制（主要技术参数见图1）的实际生产试验，探讨微孔加工各参数的调整规律，确定各工艺参数的有效匹配组合方法，提高孔加工质量和精度。 2 加工方法 目前国际上对红宝石晶体元件的孔加工方法，主要是激光和超声波加工。经试验，超声波对宝石刚玉晶体的孔加工，在精度和效率方面不如激光加工，尤其在微孔加工方面，超声波加工技术无法满足生产加工要求。 我们选择激光打孔。激光器为YAG激光器，它是一种固体激光器，其激光棒的基质