扫描电镜实验报告.docVIP

Evaluation Only. Created with Aspose.PDF. Copyright 2002-2020 Aspose Pty Ltd. 扫描电镜实验报告 姓名: 日期:2011 年 6月 2日 一、实验目的 1、结合扫描电镜 (SEM)实物，介绍其基本结构和工作原理，加深对扫描电镜结 构及原理的了解。 2、应用 SEM扫描观察实验样品的表面形貌。 二、实验仪器 JEOL JSM-6490LV型扫描电子显微镜 三、实验原理及内容 扫描电子显微镜 (SEM)的设计思想和工作原理，早在 1935 年便已被提出来了。 1942 年，英国首先制成一台实验室用的扫描电镜，但由于成像的分辨率很差，照 相时间太长，所以实用价值不大。经过各国科学工作者的努力，尤其是随着电子工 业技术水平的不断发展， 1956 年开始生产商品扫描电镜。近数十年来，扫描电镜 已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发 展。 1、扫描电镜的基本结构 ( 如图 1 所示 ) 电子光学系统 : 电子枪、聚光镜、物镜光阑 ; 扫描系统 : 扫描信号发生器、扫描放大控制器、扫描偏转线圈 ; 信号探测放大系统 : 探测二次电子、背散射电子等信号 ; 图像显示和记录系统 : 早期 SEM采用显像管、照相机等，数字式 SEM采用电脑系统进行图像显示和记录管理 ; 真空系统 :