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光电生产实习报告关志远光电生产实习 报告 本科生实习报告书 院系专业 年级班级 光信息科学与技术专业 07?级光信一班 姓 学 名 号 关志远实习单位 实习时间 指导教师 激光加工室 ?至? 曾长发等 一．?实习目的与任务： 1. 了解?He-Ne激光器的工作原理； 2. 学习及掌握激光器各部件的制作工艺与技术； 3. 学习及掌握激光器的组装以及调试方法。 二. 实习内容?: 1．?He-Ne激光管制作实习内容流程图： 实习 报告  2．?He-Ne激光器的基本结构： He-Ne气体激光器主要由? He，Ne气体放电毛细管和光学谐振腔两 部分组成，根据不同的使用要求 ,?激光器的结构可分为下列几种形式： a．?内腔式：放电毛细管与谐振腔反射镜联通在一起； b．?半内腔式：放电毛细管与谐振腔的反射镜，一头是分开的（中间 有窗片隔开），另一头则连通在一起； c．?外腔式：放电毛细管与谐振腔反射镜完全分开，中间有布儒斯特 窗片隔开。 激光管的管壳及放电毛细管通常是采用膨胀系数较小的硬质硅酸 盐玻璃制成。有时也采用膨胀系数极小的石英类玻璃材料，放电毛细 管是一细长而笔直的厚壁玻璃毛细管，?它是约束辉光放电的主要区域， 即提供光振荡的激活介质的激发区。激光管的外套管壳主要是为了储 气，如此可延长激光管的寿命，同时可容纳长而大的阴极，当然它还 可以为毛细管起一个支撑作用。放电管的阳极一般用钨杆，阴极则用 钨杆再接一个较大尺寸的金属圆筒，一般是用阴极溅射较小的金属材 料，如钼，钽，铝及铝合金等金属箔片制成。阴极的结构一般做成与 毛细管同轴的形式，也有单独做一个阴极泡接在放电管侧面，这样可 以减轻阴极溅射物对窗片或反射镜的污染，有利于提高输出功率及延 长寿命。 在外腔式和半内腔式激光管中，放电管两端或一端用光学平行平 晶窗片来封接，如图： 封接的窗片表面的法线与毛细管夹角必须满足如下要求，即图中 的?tan?θ=n，式中?n?为窗片材料的折射率，满足这一要求的θ角称为 布儒斯特角，窗片必须按此角封接上去，这是因为，按照光的电磁理 论，当光沿着毛细管轴方向传播通过布儒斯特窗片时，对于电矢量和 入射面平行的偏振光将无损失地通过它，因此窗片界面对此偏振光不 产生反射，这样一来，密封窗片一方面减少了电矢量与入射面平行的 偏振光的反射损失，另一方面使电矢量和入射面垂直的偏振光的振荡 受到抑制?（因它有大的反射损失）?，结果激光束将以完全偏振的形式输 出。 在?He-Ne激光管的外套管壳内充有一定比例的氦气和氖气。 激光管两端的反射镜通常采用一个平面反射镜，一个是凹面反射 镜组成光学谐振腔。反射镜一般是用光学玻璃（一般用 光学玻璃） 磨出光学平面，然后再其表面用真空镀膜技术镀上高反射率的多层介 质膜，其中一个称为全反射镜，其反射率为 99.5%以上（当然最好是 100%但工艺上做不到），另一个称为输出镜（激光束从此镜输出） ，其 反射率视激光管长短，增益损耗情况而定，一般也在 97%～99%之间。 作为完整的激光器还应包括供气体放电的电源供应器。 3. He-Ne激光器生产工艺： 我们知道，气体激光器是电真空器件，器件里面充有低气压的激 活介质（工作气体），所充气体的成分应该是稳定的最佳值。如果气体 的各成分的比例改变了，或渗漏和放出有非工作气体，那激光器件会 造成光谱分散能量不集中，而造成其性能下降甚至不产生激光。严重 影响器件的寿命，激光器件中真空情况的改变，是多种多样的原因造 成的。譬如抽气不彻底，工作时由于温度升高导致材料放气，电子或 离子轰击电极或其他材料造成的放气，管子慢性漏气等等，都是常见 的原因。要制造长寿命，高可靠，各种电参量都很稳定的激光器件， 就必须从原材料的选择，零部件的加工及处理，电极的装配，直到最 后的排气及充气，封口，都必须从真空技术的角度来严格要求。 气体激光器件的排与充气式最重要的一道真空加工工序。这时要 在不断抽气下进行玻壳烘烤除气，?电极高频加热除气或电子轰击除气。 排气过程一般来说，以真空系统的真空度越高，抽气速率越大越好， 以无油系统比有油系统好。气体激光器有一定的充气及特性测试等步 骤。 从以上讨论，充分说明气体激光器的制造渗透着真空技术问题。 在真空技术问题未能顺利解决时，?往往影响气体激光器件的正常生产。 He-Ne激光器生产工艺是保证制造出来的激光器合乎激光器的设 计要求（如模式，输出功率，功率稳定性，光斑尺寸，发散角，偏振 度等）及激光器的寿命。因此，在制造激光器的过程中必须严格按照 每一项工艺程序要求进行。 4. 全外腔，半内腔气体激光器的调试： 一般来说，输出功率较小的气体激光器都做成全内腔式的激光器， 这样使用起来很方便。?然而，输出功率