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微机械制造技术及应用 摘要：介绍了微机械的制造技术和应用实例，并透视了微机械的市场前景。一、对微机械的认识随着超精加工、精细加工和硅集成电路技术的不断提高，微机械制造技术迅速发展，应用越来越广泛。尽管日前微机械有很多名称，但所指的都是同一领域对微型机械的尺寸，世界上并没有统的标准。日本的些人十所作的划分是：1～100mm为“小型机械”; 10μm～10m为“微型机械”; 10nm～10μm为“纳米机械或分子机械”。一股统称为微型机械。美国最早研究并试制成功微机械，在微机械的基础研究与产品开发方面都处于世界领先。微机械在美国通常被称为微型机电系统MEMS(Micro Electric Mechanical System)。日本称之为微型机械(Micromachine) ，欧洲称之为微型系统(Microsystem)。美国所说的MEMS侧重于用集成电路可兼容技术加工元器件，把微电子和微机械集成在一起，或者说它是把微机构及其致动器、控制器、传感器、信号处理以及接口、通讯和电源等集成在一个微小的空间内，发挥机械功能的集成型机电一体化系统。MEMS并不是传统机械电子的直接微型化，而是在物质结构、尺度、材料、制造工艺和工作原理等方面都远远超出了传统机械电子的概念和范畴。广义的微机械除了包含MEMS之外，还应包括微缩后的传统机械，如微型机床、微型汽车、微型飞机等。微机械日益受到人们关注，是因为具