微小零件的测量.docVIP

微小零件的测量 本文介绍的正是可以完成易碎零件、必须保持无菌状态的零件或微型零件的一些先进测量仪器。“我们认为是在按照尺寸规格要求加工零件，但零件的实际尺寸却很难确定。”这是时常可以听到的来自车间(特别是微型加工车间)的抱怨。不过，新一代测量仪器的发展将会对此大有帮助。通常可以采用触测式和扫描式(非接触式)两种方法来测量零件。接触式测头用于测量可触测的零件，也用于测量带有难以照明的凹槽的零件。对于易碎零件、必须保持无菌状态的零件或微型零件，则可采用某种形式的光线(如激光、白光、红外线等)进行测量。本文介绍的正是可以完成上述任务的一些先进测量仪器。芝加哥的Microlution公司是生产微型加工机床的制造商，并为Microlution 310-S机床开发了用于评价零件加工质量的测量附件。这是一种基于激光的几何量特征在机测量系统。该装置将Z轴上采用共焦激光的距离测量与机床运动平台上线性编码器的扫描定位信息相结合，以获得表面被测点的三维坐标。该装置可获得堪与表面轮廓仪媲美的分辨率(用光斑直径2μm的激光束测量距离的分辨率达到10nm)。为了对工件进行测量，可利用Microlution 310-S机床上的运动安装系统，用具有亚微米级重复精度的激光测头快速替换刀具主轴。在大批量生产时，可将零件装卡在托盘上，使激光测头可以扫描多个单元，获得的点云数据可用于确定零件的尺寸和表面质量，也可输入第三