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bpg400真空规管中文手册
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bpg400真空规管中文手册
IR 090
热阴极电离复合真空计
使 用 说 明 书
BG 804 171 BE
目录
产品标识
有效范围
使用范围
工作原理
注册商标
安全
使用符号
人员素质
一般安全规则
赔偿责任与保修
技术参数
安装
真空连接
拆卸和安装电子学单元安装延伸件
电源连接
与 COMBIVAC IT23一起使用与其它测量仪器一起使用
运行
测量原理,测量特性
真空计工作原理
除气
显示器
RS232C接口
功能说明
IR090 输出
IR090 输入
维护
维护
真空计调整
真空计清洗
安装障板
更换障板
更换规管
故障查找
拆卸
产品返修
附件
备件
废物处理
附录
测量讯号与压强的关系
气体种类与压强的关系污染申报表
参阅本说明书中的章节,采用符号(→XY)。参阅其它文献,采用符号(→[Z])。
产品标识 与 Leybold Inficon 联系时,请标明产品标牌上给出的信息。将
信
息复制在标牌的复印件上。
有效范围
本说明书适用于下列件号的产品
不带显示器
120 90
(法兰 DN 25 ISO-KF )
120 92
(法兰 DN 40 CF-R)
带显示器
120 91
(法兰 DN 25 ISO-KF )
120 94
(法兰 DN 40 CF-R)
产品的件号在标牌上标明。
本公司保留对说明书不预先通知的技术更改权。
使用范围 I R090 用于在压强 5× 10-10 1000 毫巴范围内非易燃性气体和气
体混合物的真空测量。
真空计规管是 SKY Smart 真空计规管系列的一个组成部分。可
与 COMBIVAC IT23或其它测量仪器一起工作。
工作原理
在整个测量范围内, 热阴极电离复合真空计有连续的测量特
性。
它的测量讯号是对数压强输出。
真空计的功能包括 BA规热阴极电离测量系统(用于
p<× 10-2
毫巴)和皮拉尼测量系统(用于
p>× 10-3 毫巴)。在× 10-2
毫巴至 p>× 10-3 毫巴的交叉压强范围内,输出两个测量系统
的混合讯号。只有当皮拉尼测量系统的压强低于×
10-2 毫巴
的阈值时,才能转换至热阴极测量系统(防止灯丝烧断) 。当压强超过× 10-2 毫巴时切断电源。
注册商标
Combivac
Leybold
SKY
Leybold Inficon
安全
使用符号
危险
有关防止任何人身伤害的信息。
警告
有关防止设备和环境损伤的信息。
注
有关正确掌握或使用的信息。如不注意可导致设备故障或局部损伤。
提示,建议
人员素质
技术熟练的人员
本说明书中涉及的全部工作必须由经过技术培训、 有经验的或由产品的最
终用户委派的人员执行。
一般安全规则 ? 遵守安全使用规则,对过程介质采取必要的预防措施。
注意材料(→第 7 页)与过程介质之间可能的反应。
注意用于产品产生的热导致过程介质可能产生的反应。
全部工作必须在遵守安全使用规则和必要的预防措施下进行。注意本说明书中的安全要点。
在开始工作前, 检查是否有被污染的真空元件。 当处理被污染的元件时,遵守有关的规程和采取必要的预防措施。
与其它用户交流安全方面的经验。
赔偿与保修责任 如最终用户或第三方有以下情况, Leybold Inficon 将不承担赔
偿
与保修责任。
不理会本说明书中的要求
在不适当的状态下使用本产品
对产品作任何变动(修改,更改等)
使用不是相应产品文件中所列的附件对所使用的过程介质,由最终用户负责。
2 技术参数
测量
测量范围(空气,氮,氧)
5× 10-10 至 1000 毫巴 , 连续
精度
15%读值
( 10-8
至 10-2
毫巴)
( 5 分钟后稳定)
重复性
5%读值
( 10-8
至 10-2
毫巴)
( 5 分钟后稳定)
与气体种类的关系
附录 B
发射
发射 on 阈值
× 10-2 毫巴
发射 off 阈值
× 10-2 毫巴
发射电流
p≤× 10-6 毫巴
5 毫安
× 10-6 <p<× 10-2 毫巴
25 微安
发射电流转换
25 微安
5 毫安
× 10-6 毫巴
5 毫安 25微安
× 10-5 毫巴
除气
电流
约 16毫安 / 约瓦
( p<× 10-6 毫巴)
控制输入讯号
0 伏 /24 伏, PLC-值,高动态
时长
至多 3 分,接着自动停止
在除气模式中, IR090 保持提供测量值,误差大于正常运行。
输出讯号
输出讯号
0至10伏
测量范围
伏 5× 10-10 毫巴
10 伏 1000 毫巴
电压与压强的关系
对数,伏 / 量级
误差讯号
<伏 / 伏(→第 25 页)
最小负荷
1
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