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bpg400真空规管中文手册 bpg400真空规管中文手册 PAGE / NUMPAGES bpg400真空规管中文手册 IR 090 热阴极电离复合真空计 使 用 说 明 书 BG 804 171 BE 目录 产品标识 有效范围 使用范围 工作原理 注册商标 安全 使用符号 人员素质 一般安全规则 赔偿责任与保修 技术参数 安装 真空连接 拆卸和安装电子学单元安装延伸件 电源连接 与 COMBIVAC IT23一起使用与其它测量仪器一起使用 运行 测量原理，测量特性 真空计工作原理 除气 显示器 RS232C接口 功能说明 IR090 输出 IR090 输入 维护 维护 真空计调整 真空计清洗 安装障板 更换障板 更换规管 故障查找 拆卸 产品返修 附件 备件 废物处理 附录 测量讯号与压强的关系 气体种类与压强的关系污染申报表 参阅本说明书中的章节，采用符号（→XY）。参阅其它文献，采用符号（→［Z］）。 产品标识 与 Leybold Inficon 联系时，请标明产品标牌上给出的信息。将 信 息复制在标牌的复印件上。 有效范围 本说明书适用于下列件号的产品 不带显示器 120 90 （法兰 DN 25 ISO-KF ） 120 92 （法兰 DN 40 CF-R） 带显示器 120 91 （法兰 DN 25 ISO-KF ） 120 94 （法兰 DN 40 CF-R） 产品的件号在标牌上标明。 本公司保留对说明书不预先通知的技术更改权。 使用范围 I R090 用于在压强 5× 10-10 1000 毫巴范围内非易燃性气体和气 体混合物的真空测量。 真空计规管是 SKY Smart 真空计规管系列的一个组成部分。可 与 COMBIVAC IT23或其它测量仪器一起工作。 工作原理 在整个测量范围内， 热阴极电离复合真空计有连续的测量特 性。 它的测量讯号是对数压强输出。 真空计的功能包括 BA规热阴极电离测量系统（用于 p＜× 10-2 毫巴）和皮拉尼测量系统（用于 p＞× 10-3 毫巴）。在× 10-2 毫巴至 p＞× 10-3 毫巴的交叉压强范围内，输出两个测量系统 的混合讯号。只有当皮拉尼测量系统的压强低于× 10-2 毫巴 的阈值时，才能转换至热阴极测量系统（防止灯丝烧断） 。当压强超过× 10-2 毫巴时切断电源。 注册商标  Combivac  Leybold SKY  Leybold Inficon 安全 使用符号 危险 有关防止任何人身伤害的信息。 警告 有关防止设备和环境损伤的信息。 注 有关正确掌握或使用的信息。如不注意可导致设备故障或局部损伤。 提示，建议 人员素质 技术熟练的人员 本说明书中涉及的全部工作必须由经过技术培训、 有经验的或由产品的最 终用户委派的人员执行。 一般安全规则 ? 遵守安全使用规则，对过程介质采取必要的预防措施。 注意材料（→第 7 页）与过程介质之间可能的反应。 注意用于产品产生的热导致过程介质可能产生的反应。 全部工作必须在遵守安全使用规则和必要的预防措施下进行。注意本说明书中的安全要点。 在开始工作前， 检查是否有被污染的真空元件。 当处理被污染的元件时，遵守有关的规程和采取必要的预防措施。 与其它用户交流安全方面的经验。 赔偿与保修责任 如最终用户或第三方有以下情况， Leybold Inficon 将不承担赔 偿 与保修责任。 不理会本说明书中的要求 在不适当的状态下使用本产品 对产品作任何变动（修改，更改等） 使用不是相应产品文件中所列的附件对所使用的过程介质，由最终用户负责。 2 技术参数 测量 测量范围（空气，氮，氧） 5× 10-10 至 1000 毫巴 , 连续 精度 15%读值 （ 10-8 至 10-2 毫巴） （ 5 分钟后稳定） 重复性 5%读值 （ 10-8 至 10-2 毫巴） （ 5 分钟后稳定） 与气体种类的关系 附录 B 发射 发射 on 阈值 × 10-2 毫巴 发射 off 阈值 × 10-2 毫巴 发射电流 p≤× 10-6 毫巴 5 毫安 × 10-6 ＜p＜× 10-2 毫巴 25 微安 发射电流转换 25 微安 5 毫安 × 10-6 毫巴 5 毫安 25微安 × 10-5 毫巴 除气 电流 约 16毫安 / 约瓦 （ p＜× 10-6 毫巴） 控制输入讯号 0 伏 /24 伏， PLC-值，高动态 时长 至多 3 分，接着自动停止 在除气模式中， IR090 保持提供测量值，误差大于正常运行。 输出讯号 输出讯号 0至10伏 测量范围 伏 5× 10-10 毫巴 10 伏 1000 毫巴 电压与压强的关系 对数，伏 / 量级 误差讯号 ＜伏 / 伏（→第 25 页） 最小负荷 1