电子科大《集成电路工艺》第十七章.pptVIP

* * 离子注入成为硅片制造的重要技术，其主要原因之一是它能够重复向硅片中注入相同剂量的杂质。注入机是借助离子的正电荷实现此目的的。当正杂质离子形成离子束，它的流量被称为离子束电流，单位是毫安(mA):中低电流的范围从0.1ma~10ma，大电流的范围从10~25ma。如上面的公式所示，离子束电流的量级是定义剂量的一个关键变量。如果电流增大，单位时间内注入的杂质原子数量也增大。大电流有利于提高硅片产量(单位生产时间注入更多离子)，但也会产生均匀性问题。 词语：电子伏特 拼音：diàn zǐ fú tè 解释： * 词语：杂质 拼音：zázhì 解释：一种物质中夹杂的其它物质。鲁迅《二心集·“硬译”与“文学的阶级性”》：“譬如原质或杂质的化学底性质，有化合力。”郭沫若《中国史稿》第三编第一章第四节：“经化验含铜量在82％以上，含锡15％左右，还有其他杂质。” * 词语：理论 拼音：lǐlùn 解释：说理立论；依理评论。《北史·崔光韶传》：“光韶博学强辩，尤好理论，至於人伦名教，得失之间，榷而论之，不以一毫假物。”唐郑谷《故少师从翁追纪》诗：“理论知清越，生徒得李频。”《水浒传》第五回：“皇城干事全不济事，还是大官人理论得是！”据理争论；讲理。元无名氏《冯玉兰》第一折：“您何须紧厮跟，档咽喉强劫人，好教我哭啼啼难理论，待向前还倒褪。”《醒世恒言·一文钱小隙造奇冤》：“若先嚷破了，反被他做了準备。不如竟到官司，与他理论。”《二十年目睹之怪现状》第五回：“﹝我﹞心中不觉暗暗动怒，只不便同他理论。”柳青《创业史》第二部第八章：“他把短烟袋锅装进上衣口袋里头，起身到蛤蟆滩去，找他振山老大理论去。”注意。明汤显祖《紫钗记·节镇宣恩》：“如今卢府着忙，不暇理论到此事。”《英烈传》第三一回：“那周颠日日在帐中闲耍，太祖也不十分理论。”清蒋士铨《第二碑·上冢》：“小人们祖父居此，灶侧有个古坟，向来也不理论，及布政司籛爷来此立碑，始知是娄妃旧墓。”道理；理由。元曾瑞《留鞋记》第三折：“你既是个女子，怎生不守闺门之训？这绣鞋儿却揣在郭华怀中，有何理论？从实招来，休讨打吃。”老舍《老张的哲学》第三五：“王太太旁征博引，为赵太太的理论下注解与佐证。”指系统的理性认识。毛泽东《整顿党的作风》：“真正的理论在世界上只有一种，就是从客观实际抽出来，又在客观实际中得到了证明的理论。”邹韬奋《理论和实践的统一》：“理论和实践是统一的，总是分不开的。”泛指某种观点。鲁迅《坟·春末闲谈》：“可惜理论虽已卓然，而终于没有发明十全的好方法。” * 词语：注入 拼音：zhù rù 解释：灌入。多指抽象事物。巴金《中岛健藏先生》：“他在中日文化交流这个巨大工作上注入了多少的心血。”《花城》1981年第2期：“在梅花的生命中注入火与力，关山月已经作到了。”记入，记下。鲁迅《书信集·致章廷谦》：“我想调查五十人的籍贯和饭碗，有所议论，请你将所知者注入掷下，劳驾，劳驾！” * 词语：增加 拼音：zēngjiā 解释：增添，在原有的基础上加多。《汉书·刑法志》：“增加肉刑、大辟。”唐韩愈《黄家贼事宜状》：“所费既不增加，而兵士又皆便习。”清陈康祺《郎潜纪闻》卷五：“盛京内务府，尊藏典训、宗器二百餘年。寳守维谨，屡有增加。”巴金《灭亡》第一章：“李冷虽想装出安静的样子，但自己底惶惑却是一秒钟一秒钟地增加。” * 词语：单位 拼音：dānwèi 解释：计算事物数量的标准。如“米”为计量长度的单位，“秒”为计算时间的单位，“克”为计算重量或质量的单位，等等。机关、团体或其所属的某一部门。柳青《铜墙铁壁》第十八章：“晚霞映红的平墕里，尽是一片各单位交上来的俘虏。”何为《最初的带路人》：“我想这大概就是老乔的工作单位了。” * * * 词语：真实 拼音：zhēnshí 解释：跟客观事实相符合；不假。汉荀悦《申鉴·政体》：“君子之所以动天地、应神明、正万物而成王治者，必本乎真实而已。”宋苏轼《叶涛致远见和二诗复次其韵》之一：“那知非真实，造化聊戏尔。”清吴伟业《赠愿云师》：“世法梦幻，惟出世大事，乃为真实。”杨朔《海市》：“这真实的海市并非别处，就是长山列岛。”真心实意。宋苏轼《东坡志林》（《稗海》本）卷十：“玄德将死之言，乃真实语也。”明李贽《复杨定见书》：“盖真实下问，欲以求益，非借此以要名，如世人之为也。”确切清楚。明冯惟敏《不伏老》第二折：“且是眼花花的怎生去看的真实。”《三国演义》第四五回：“后面言语颇低，听不真实。” * 词语：各种 拼音：ɡè zhǒnɡ 解释：指诸多物类。章炳麟《菌说》：“夫自有花刚石以来，各种递变，而至於人，则各种皆充其鼎俎，以人智于各种尔。”犹言各式各样。周而复《上海的早晨》第一部七：“地上如同铺了一块一块不规则的各种形状的玻璃。”邓小平《目前的