提高触发式测头使用精度的研究.docVIP

提高触发式测头使用精度的研究 摘　要：根据触发式测头的工作原理，对影响测头使用精度的主要误差——不灵敏域误差Rφ进行了系统的试验分析，提出了换向回位误差eφ的概念，解释了测头使用中测量结果不一致的现象，并提出采用两次触测法消除换向回位误差，从而可显著提高测头的使用精度尤其是重复性精度。 关键词：触发式测头　使用精度　不灵敏域误差　换向回位误差　两次触测法 Study on Improving the Accuracy of Trigger-type Probes Yuan Qi et al Abstract：Based on the working principle of trigger-type probes，the influence of the non-sensitive area error on the accuracy of probes is systematically analyzed．The conception of return error caused by change of measuring direction is presented，the phenomena of unconformity of measuring results are explicated，and a twice measurements method is presented to cancel the return error，then the accuracy and repeatability of probes can be improved signally． Keywords：trigger-type probe accuracy non-sensitive area error return error twice measurements method 一、概　述 　　触发式测头是广泛应用于多种测量领域的精密测量工具，其典型代表产品有英国RENI- SHAW公司的TP2-5、TP1、MP3和MP4等，国内成都工具研究所等单位也生产此类产品。与其它类型的测头相比，触发式测头具有结构简单、测量可靠、使用方便、不易损坏、体积小、寿命长、成本低等优点，其测量灵敏度可高达0．01 μm以上，测量重复性（2σ）一般为0．35～1μm。但此类测头存在较大的不灵敏域误差Rφ（通常Rφ＝1～3μm），如不剔除，将对其使用精度造成较大影响。本文基于触发式测头的工作原理，对Rφ的产生机理及R中包含的两项主要误差分量——弹性变形误差δφ和换向回位误差eφ进行了试验分析。由于弹性变形误差δφ业已引起人们重视并已有消除方法，因此本文重点探讨换向回位误差eφ的特性，并提出一种消除eφ的有效方法——两次触测法。 二、不灵敏域误差Rφ的产生机理 　　触发式测头的触测发讯机构（见图1）的主体是带有三个120°均布定位柱的摆体，它在压力弹簧作用下定位于120°均布的三对刚性支承球上，当测球与被测工件接触时，定位柱与六个支承球接触点中的一个（或多个）打开，并随机发送出一个信号，该信号即确定了测球与被测工件的接触位置。这种机构称为三点自准回零位机构，其特点是当测球沿不同方向触测工件时，会产生呈三瓣叶形函数分布的触测力。在这种变化的触测力作用下，如果机构制造精确，零件完全为刚性连接，在没有摩擦力和弹性滞后影响的理想条件下，是可以保证每次回位位置的重复性的，也不会产生不灵敏域误差Rφ，但实际测量条件不可能达到理想状态，当测球沿不同方向触测工件时，不仅会产生呈三瓣叶形函数分布变化的弹性变形误差δφ，同时还会因回位位置不同产生换向回位误差eφ，即会产生由δφ和eφ构成的不灵敏域误差Rφ，如图2中虚线所示部分。 图1　三点自准回零位机构 图2　不灵敏域误差矢量图 　　为进一步说明Rφ的产生机理，下面分别对触测力的变化、δφ和eφ的产生作详细分析。 　　1．触测力变化的分析 　　当测球沿不同方向触碰工件时，测力Gφ可分解为垂直分量W和水平分量Fφ。为便于分析，这里将Fφ称为触测力，它是产生弹性变形误差δφ和换向回位误差eφ的主要根源。如图3所示，Fφ对水平面上的三个支承点a，b，c均有可能构成正交的垂直和水平力矩，当该力矩大于由压力P构成的相应反力矩时，某一定位柱就会与支承球的六个接触点中的一个（或多个）接触点脱开。如按图3所示的Fφ方向触碰工件，b点将绕a，c两点同时作垂直和水平转动，即摆体受交变力矩Mba，Mbc的作用，在空间作非线性转动，并一直转动到垂直和水平分力矩达到平衡时才停止在空间某一位置。可见，当测球沿不同方向触碰工件时，转动摆体中心点O（即测头静止时的零位）所需的垂直力矩分量Mbav，Mbcv和水平力矩分量Mba1，Mbc1的大