一种刚度可调的气浮导轨.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 回 (10)申请公布号 CN 111156249 A (43)申请公布日2020. 05. 15 (21)申请号 202010119092.0 (22)申请日 2020.02.26 权利要求书 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 (71)申请人中国工程物理研龙院机械制造工艺 研究所 地址621000四川省绵阳市绵山路61号 (72)发明人杨光伟阳红张敏王虎 刘有海戴晓静休守利尹承真 (74)专利代理机构成都行之专利代理事务所 (普通合伙)51220 代理人高俊 (51)lnt.CI. F16C 29/02 2006.01) F16C 29/0仇 2006.01) F16C 3〃06(2006.01) (54)发明名称 -种刚度可调的气浮导轨 (57)摘耍 本发明公开了一种刚度可调的气浮导轨，包 括导轨条及滑块，所述滑块与导轨条之间具有气 膜间隙，所述气膜间隙包括用于将滑块支撑在导 轨条上侧的第一气膜.还包括电磁铁.所述电磁 铁固定在导轨条和/或滑块上，且在电磁铁通电 后，电懑佚产生使得导轨条与滑块在竖宜方向相 互靠拢的磁力。本气浮导轨的结构设计可使得其 能够被运用于精密洌笛仪器或者超精密机床在 轻负栽时，拥有良好的支承刚度和运动精度和抗 干扰的能力,有利于提高气浮导轨的运动精度和 动力学性能。 1 .一种刚度可调的气浮导轨，包括导轨条(1)及滑块(3),所述滑块(3)与导轨条(1)之 间具有气膜间隙，所述气膜间隙包括用于将滑块⑶支撑在导轨条⑴上侧的第一气膜⑻， 其特征在于,还包括电磁铁(2)，所述电磁铁(2)固定在导轨条(I)和/或滑块(3)上,旦在电 磁铁⑵通电后，电磁铁⑵产生使得导轨条⑴与滑块⑶在竖直方向相互靠拢的磁力。 根据权利要求1所述的?种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，在导轨条(1)的宽度 方向上，导轨条(1)的左侧和右侧均设置有多个电蹴铁(2)： 导轨条⑴左侧的电磁铁⑵沿着导轨条⑴的长度方向依次排布： 导轨条⑴右侧的电磁铁⑵沿着导轨条⑴的长度方向依次排布： 各电磁铁(2)均可独立工作。 根据权利要求2所述的?种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，电磁铁(2)均安装在 滑块⑶上： 所述第-气膜(8)设我在导轨条(1)宽度方向的中部； 滑块⑶的左侧和右侧均设置有一个与滑块⑶侧面相接的凹槽，所述电磁铁⑵安装 在所述凹槽中。 根据权利要求2所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，电磁铁(2)均安装在 滑块⑶上： 所述第-气膜(8)设置在导轨条(1)宽度方向的中部； 电磁铁(2)均通过顶面与滑块(3)的底面固定连接安装于滑块(3)上。 5 .根据权利要求1所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，还包括位移传感器 (6)，所述位移传感器(6)用于检测所述第一气膜(8)的气膜厚度。 6.根据权利要求5所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于.所述位移传感器(6) 的数量为两个，且两个位移传感器(6)以相对之间呈对角布置的方式固定于滑块(3)上。 .根据权利要求5或6所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，还包括信号输入 端与位移传感器⑹信号输出端信号连接的控制系统⑺，所述控制系统⑺用于:通过采集 来自位移传感器⑹的气膜原度数据，控制电破铁⑵的工作参数。 .根据权利要求1所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，还包括包裹在电磁铁 (2)上的磁拆蔽套(5),所述磁屏蔽套(5)为一侧开口的盒体状结构，且在电磁铁(2)与磁掰 蔽套⑸形成的组合体中.所述磁屏蔽套⑸的开口侧对应电磁铁⑵在进行导轨条⑴与滑 块(3)相互吸引时的工作侧。 根据权利要求1所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，所述滑块(3)为下侧 设苣有凹槽的块状结构，所述导轨条(1)的横截面呈倒苴的T形?且导轨条(1)上侧凸出的部 分散入所述凹槽中，所述第一气膜(8)位于所述凸起部分顶侧与凹槽底侧之间： 所述气膜间隙还包括两个笫二气膜(9),在导轨条(1)的宽度方向上，所述凸起部分的 侧面与凹槽的侧面之间均具有一个第二气膜(9) ° 根据权利要求9所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，所述电碰铁(2)有多 个且为偶数个； 所述导轨条(1)包括导轨基体，所述电破铁(2)的下端固定于导轨导轨基体上，且电磁 铁(2)作为导轨条(1)上的凸出的部分； 电磁铁⑵沿着导轨条⑴怆度方向的中心线排列成两列； 两列电磁铁⑵呈线对称关系: 各电磁铁(2)均可独立工作。 一种刚度可调的气浮导轨 技术领域 [0001]本发明涉及气浮导轨技术领域，特别是涉及一种刚度可调的气浮导轨。 背景技术 [0002]气浮导轨基于气体动静压效应，实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精 度高、清洁无污染等特点。因其误差均化作用，可用比校低的制