原创力文档
声学MEMS 或迎新一轮增长，压力与光学
MEMS 拓展平行赛道
1 MEMS 传感器应用领域广泛，核心零部件加工难度较
高
MEMS 传感器是使用最广泛的MEMS 产品，包括惯性传感器、
压力传感器、声学传感器、环境传感器以及光学传感器等多种传感
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