ICP刻蚀工艺要点.pdfVIP

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  • 2022-02-20 发布于天津
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ICP 考试题库 一,选择题。 1、 ICP 刻蚀机的分子泵正常运行时的转速大约在( B )RPM A 20000 B 32000 C 40000 D 18000 2、北微 ICP 本底真空和漏率指标为( A )时,设备能够正常工作 A 0— 0.1mT

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