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沉积炉作业指导书 编 号 feigeoer 类别 作业指导书 版 次 页码 PAGE 2 / NUMPAGES 4 第 PAGE 2页 1、目的 规范沉积炉操作，适用于沉积炉作业。 2、适用范围 本规定适用于使用井式真空表面处理炉（CVD沉积炉）作业指导。 3、设备基本参数 设备型号： ZRJCN300-CY 技术参数： 最高使用温度 1050℃ 额定使用温度 950℃ 加热功率 300KW 电源电压/相数 380/3N 加热区