常用传感器的工作原理.pptVIP

* 电容式位移传感器的位移测量范围在1um—10mm之间，变极距式电容传感器的测量精度约为2%。变面积式电容传感器的测量精度较高，其分辨率可达0.3um。 第3章 常用传感器的工作原理 * 3.3 电容式传感器 采用电容器作为传感元件，将不同物理量的变化转换为电容量的变化。 被测信息 敏感元件 转换元件 辅助电源 信号调理电路 输出信息 电容元件 电容元件 实际上是一个 具有可变参数 的电容器 * 3.3.1 工作原理及类型 用两块金属平板作电极可构成电容器，当忽略边缘效应时其电容C为： A δ ε δ、A或ε发生变化时，都会引起电容的变化。 变面积型 电容式传感器 变极距型 变介质型 * （1） 极距变化型 变极距型传感器常常是一块极板固定而使另一块极板移动，从而改变极距?以引起电容的变化。 + + + + + + 因此电容器传感器的灵敏度为： 灵敏度与极距的平方值成反比，极距越小时灵敏度越高。 为减小非线性误差，该类传感器通常用于测量微小位移。 * 为减小非线性误差，通常规定在较小的间隙变化范围内工作以便获得近似的线性关系。一般取极距变化范围为 减小δ可以提高灵敏度。但δ过小易导致电容器击穿（空气的击穿电压为3kV／mm）。可在极间加一层云母片（其击穿电压大于 103kV/mm）或塑料膜来改善电容器耐压性能。 * 设可动极板上移 ，则 增大， 减小。 所以