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- 2022-03-03 发布于天津
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块规研磨平板怎么校正精度
块规研磨平板怎么校正精度:
1 引 言
研磨平板主要的作用_是将其几何形状精度传达给被研磨工件。量块研磨平板的几何形状误差直接影响量块量面的平面精度。0.5-150mm 0 级量块的量面平面度要求不_过 0.1μm,如此严格的要求当然对研磨平板也提出了很高的要求。研磨平板使用一段时间后,由于受到不同程度的磨损,其平面度变差,因此,为了提高研磨平板平面度,需要校正研磨平板。
2 研磨平板平面度选择分析不管研磨平板校正得多直,平板平面度多好,我厂量块平面度合格率仅 43%。成为量块质量的一个瓶颈。总结多年的实践经验以及多方面的分析研究,后发现:同样是平面度不_过 0.3μm 的研磨平板(用 准80mm 的一级光学平晶测量),其板形为均匀的凸形时,研磨后量块平面度好,合格率高,能到达 55%以上。而平板为凹形时,量块平面度差此时量块被研磨后表面成凸形,且凸出程度大。平板比较平直时,量块平面度较差,此时量块被研磨后表面也成凸形。那么,为什么研磨平板成凸形时好呢?研磨时,量块相对于研磨平板的运动,是由量块卡带拖动的。当量块卡带不是正好卡在量块的中间位置时(操作时很难_在中间位置),量块在运动时将受_的力矩。如图 1 所示,当卡带所处位置高于
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