第6章电容式传感器.pptxVIP

会计学;6.1 电容式传感器的工作原理及结构形式;电容式传感器的电容极板之间存在静电场。由于极板边缘效应的存在，使边缘处的电场分布不均匀，造成电容的边缘效应，这相当于在传感器的电容里并联了一个附加电容，边缘效应不仅使电容式传感器的灵敏度降低而且产生非线性，因此应尽量减小并消除电容边缘效应的影响。 ;根据电容器变化参数的不同，分为3种类型： 变间隙式：测量微小（0.01μm-零点几m m ）线位移； 变面积式：测量角位移或较大线位移； 变介电常数式：测量液位、固体厚度、介质湿度、密度。;第4页/共41页;6.1.1 变间隙式电容传感器;第6页/共41页;有了云母片，极板间起始距离可大大减小。;非线性误差分析;差动式电容传感器;差动结构的优点： 灵敏度提高一倍； 非线性误差大大下降； 还能减小静电引力带来的误差，改善环境影响造成的误差。;6.1.2 变面积式电容传感器;（2）直线位移式;6.1.3 变介电常数式电容传感器;（2）测量纸张、绝缘薄膜厚度或粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体介质湿度;;6.2 电容式传感器的等效电路;6.3 电容式传感器的信号调理电路 ;1. 电桥电路; 电路灵敏度和稳定性较高，且寄生电容影响小，因此简化屏蔽和接地，适于高频工作，应用很广泛。但电桥输出电压幅值小，输出阻抗高，其后必须接高输入阻抗放大器才能工作。; 将传感器作为振荡器谐振回路的一部分，当输入量使电容量发生变化后，振荡器的振荡频率就发生变化，通过鉴频器将频率变化转化为振幅的变化，经放大后用仪表指示。;To 4.2.3;第22页/共41页;第23页/共41页;3. 谐振电路 ;特点： 灵敏度高； 缺点：工作点不易选取，变化范围较窄；传感器与谐振回路要离得较近，否则电缆杂散电容对电路影响大；要求振荡器频率稳定，否则对测量精度影响大。;4. 运算放大器式电路 ;5. 脉冲宽度调制电路 ;6.4 影响电容传感器精度因素及提高精度的措施 ; 2) 对介电常数的影响 原因：介质的介电常数有不为零的温度系数，产生附加电容。 ;使传感器灵敏度下降 输出产生零位漂移 ;使传感器灵敏度下降 非线性增加 ;寄生电容：电容器极板与周围物体之间产生的电容联系。 危害：使传感器电容改变，导致传感器特性不稳定，从而带来干扰。;驱动电缆法（等电位屏蔽法）;整体屏蔽法;1.电容式测微仪 用以测量金属表面状况、距离尺寸、振幅等参数，一般采用单极式变间隙电容传感器,即被测物体作为传感器的一个极板，另一个极板在传感器内，最小检测量为0.01μm。;2.差动电容式压力传感器;3.电容式液位传感器;4.硅电容式加速度传感器;6.6 小结;如图4，某单组式变面积型圆柱形结构线位移电容传感器，外圆筒内半径 ，内圆筒外半径 ，两极筒遮盖长度为 ，极筒间介质为空气（真空介电常数 ），试求其电容值和其静态灵敏度？