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配向科培训日本小结.pptx

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RBS 赴ING培训报告 ; ING培训日程 1、2012.07.26 移动 中国南京→日本成田机场→东京新宿 2、2012.7.21--07.30 理论教学 东京新宿 3、2012.07.31--08.05 现场教学及实践 长野县茅野市 4.2012.08.06—08.08 ING光配向学习 东京品川 5、2012.08.09 移动 东京品川→日本成田机场→中国南京 ; 第一部分——RUBBING设备 一、RUBBING设备理论介绍 1、Rubbing理论基础 2、设备组成及功能 二、RUBBING设备现场教学及实践 1、Operation Training 各部分(US、IA、SR、RLD、Cloth Attachment Machine)操作,机构说明 2、重要机构(stage、roller等)调整检测方法说明 3、Touch Panel内Error Code的说明 4、设备保养相关 5、Roller 加工厂参观学习 6、PLC软体说明 三、问题点总结 第二部分——光配向设备 四、 ING光配向设备及LTPS 五、 ING光配向DEMO机简介 六、 ING光配向与UV2A; 第一部分 RUBBING设备;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;4、设备维护保养; 4.1润滑保养(注油及清洁) 4.1.2 RBS:STAGE走行导轨、roller上、下丝杆及导轨、roller set unit导轨、roller change走行导轨、roller change lift上下导轨 4.1.3 TRT:stage上下走形导轨及丝杆、shuttle上、下及走行滑轨 4.2.保养方法: 注油保养主要有油枪注油、手涂抹两种方式; 注意: 对于LM guide上的滑块有注油孔的可通过油枪注射,没有注油孔的机构,要通过涂抹的方式进行。 先清理老化的劣油、再涂抹新油。 涂抹时要尽量涂抹均匀,涂抹薄薄一层即可,不需要涂抹油量太多。 ;4.2 roller转动皮带更换;4.3 roller center的更换;5、Roller 加工厂参观学习;6、PLC软件相关;6、PLC软件相关;6、PLC软件相关;6、PLC软件相关;6、PLC软件相关;;;;第二部分——光配向设备;四、ING光配向设备及LTPS;四、ING光配向与LTPS制程;四、 ING光配设备与LTPS制程;五、ING光配向DEMO机简介;五、ING光配向DEMO机简介;;五、ING光配向DEMO机简介;六、ING光配向与UV2A; THE END TKS

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