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高德(無錫)電子外層酸性蝕刻試車報告 一、試車說明： 高德(無錫)電子使用友緣公司細線路專用之蝕刻液 CC—28，是一種以氯 酸鈉爲主，且加入特殊配方的濃縮蝕刻液，搭配 AQUA--精密自動控制 器，通過試車得到最佳操作參數，並將其对现场可能發生的問題有一 初步了解，做出相应的解决方法，使得貴公司DES线順利生産。 二、試車目的： 1、維護槽液穩定性，穩定的蝕刻速率； 2、得到合理的側蝕和較佳的蝕刻因子； 3、得到最佳的蝕刻均勻性； 4、得出合理實際單位耗用量。 二、試車時間： 2004年11月 12 日~2004年11月 18日 三、試車地點： 高德 （無錫）電子外層DES線蝕刻段 四、試車人員： 高德 （無錫）電子： 友 緣 化 學： 五、 産品規格及進料檢驗 ：（分析方法見附頁） 项目 形 態 液體 外 觀 透明澄清至微淡綠色水溶液 氯化鈉