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会计学
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第二篇透射电子显微分析
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本章主要内容
9.1 透射电镜的结构及其成像原理
9.2 电子衍射
9.3 薄晶体样品的衍衬成像原理
材料现代测试方法 透射电子显微分析
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9.1 透射电镜的结构及其成像原理
透射电镜的结构
材料现代测试方法 透射电子显微分析
JEM-2010透射电镜
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材料现代测试方法 透射电子显微分析
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材料现代测试方法 透射电子显微分析
光学显微镜和电镜光路图比较
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材料现代测试方法 透射电子显微分析
电子光学系统
从结构上看，透射电镜和光学透镜非常类似，根据其功能的不同可分为以下几部分：
1）照明部分
（1）阴极：又称灯丝，一般是由0.03~0.1毫米的钨丝作成V或Y形状。
（2）阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全，一般都是阳极接地，阴极带有负高压。
（3）控制极：会聚电子束；控制电子束电流大小，调节象的亮度。
电镜一般是电子光学系统、真空系统和供电系统三大部分组成。
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材料现代测试方法 透射电子显微分析
阴极、阳极和控制极决定着电子发射的数目及其动能，
因此，人们习惯上把它们通称为“电子枪”。
（4）聚光镜：由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用，电子束穿过阳极小孔后，又逐渐变粗，射到试样上仍然过大。聚光镜就是为克服这种缺陷加入的，它有增强电子束密度和再一次将发散的电子会聚起来的作用。
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材料现代测试方法 透射电子显微分析
照明部分示意图
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材料现代测试方法 透射电子显微分析
2）成象放大部分
这部分有试样室、物镜、中间镜、投影镜等组成。
（1）试样室：位于照明部分和物镜之间，它的主要作用是通过试样台承载试样，移动试样。
（2）物镜：电镜的最关键的部分，其作用是将来自试样不同点同方向同相位的弹性散射束会聚于其后焦面上，构成含有试样结构信息的散射花样或衍射花样；将来自试样同一点的不同方向的弹性散射束会聚于其象平面上，构成与试样组织相对应的显微象。投射电镜的好坏，很大程度上取决于物镜的好坏。
物镜的最短焦距可达1毫米，放大倍数约为300倍，最佳分辨本领可达1埃，目前，实际的分辨本领为2埃。
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为了减小物镜的球差和提高象的衬度，在物镜极靴进口表面和物镜后焦面上还各放一个光阑，物镜光阑（防止物镜污染）和衬度光阑（提高衬度）
在分析电镜中，使用的皆为双物镜加辅助透镜，试样置于上下物镜之间，上物镜起强聚光作用，下物镜起成象放大作用，辅助透镜是为了进一步改善场对称性而加入的。
材料现代测试方法 透射电子显微分析
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材料现代测试方法 透射电子显微分析
近代高性能电镜一般都设有两个中间镜，两个投影镜。三级放大放大成象成象和极低放大成象示意图如下所示:
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