纳米技术在微电子上的应用.pptxVIP

纳米技术在微电子上的应用;1、纳米技术（nanotechnology） 1.1 纳米技术是用单个原子、分子制造物质的科学技术。 1.2 纳米加工技术是实现纳米化的基础。 ;1.2.1纳米加工技术分类 按加工方式：切削加工、磨料加工（分固结磨料和游离磨料）、特种加工和复合加工四类。 几种新兴的纳米加工技术：化学合成方法、 聚焦离子束技术、准分子激光直写纳米加工技术、纳米压印技术 ;1.3纳米电子学 1.3.1主要思想：基于纳米粒子的量子效应来设计并制备纳米量子器件。 1.3.2最终目标：进一步减小集???电路，研制出由单元子或单分子构成的在室温下能使用的各种器件。 ;2、微电子技术 2.1微电子技术是建立在以集成电路为核心的各种半导体器件基础上的高新电子技术 特点是体积小、重量轻、可靠性高、工作速度快，微电子技术对信息时代具有巨大的影响。 ;二、纳米技术在微电子学上的应用;清华大学的范守善教授利用碳纳米管,制成Si3N4纳米线，其径向尺寸为4～40nm。 1997年，他们还制备出了GaN纳米线。 1998年该科研组与美国斯坦福大学合作，在国际上首次实现硅衬底上碳纳米管阵列的自组织生长。 ;（1）连接超高密度集成线路元件的纳米导线;(2)制备金属/绝缘体多层膜的新方法;(3)纳米陶瓷基板;（4）纳米导电浆料;（5）单电子器件及纳米量子器件;(6)纳米吸波材料;(7)超塑性的应用;(8)