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集成电路用电子化学品 它包括四类关键产品： 第一、超净高纯试剂 超净高纯化学试剂超净高纯化学试剂，亦称湿化学品,或加工化学品，是超大规模集成 电路制作过程中关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻，它的纯度 和洁净度对 IC 的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。超净高纯试剂具有品种 多、用量大、技术要求高、贮存有效期短和强腐蚀性等特点。使用这种试剂的工艺主要是洗 净(包括干燥)、光刻、蚀刻、显影、去膜、掺杂等。这种试剂包括超净高纯酸及碱类、超净 高纯有机溶剂和超净高纯蚀