柔性电子结构及柔性传感器研究.docxVIP

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万方数据 万方数据 目录 目 录 1绪论………………………………………………………………………………………………………………………… 1.1课题的研究背景和意义… 一1 1.1.1柔性电子的提出… 1 1.1.2柔性结构介绍… 4 1.1.3转印技术简介… 5 1.2国内外研究进展概述… 一6 1.2.1柔性电子的研究进展… 6 1.2.1柔性传感器的应用… 8 1.3本文的研究内容及安排………………………………………………………………1 0 1.3.1本文的研究内容… 一10 1.3.2论文的章节安排… .10 2柔性层合梁结构的弯曲分析… .13 2.1层合梁结构弯曲的力学建模… 13 2.2.1理论模型… .13 2.1.2基本方程与边界条件… ..14 2.2模型求解… 17 2.2.1微分求积法及应用… ..17 2.2.2算例… ..19 2.3刁王章小结… . 3转印过程及柔性复合结构的有限元模拟… .25 3.1转印过程的有限元模拟… 25 3.1.1建立有限元模型… ..25 3.1.2有限元结果及分析… ..28 3.2柔性复合结构的有限元仿真… 33 3.2.1复合梁结构的有限元仿真… 一34 3.2.2复合板结构的有限元仿真… ..37 3.3本章小结… ..40 4转印相关实验及软界面黏附实验… .43 4.1转印相关实验… 43 4.1.P1 DMS特性及制备方法… ..44 4.1.1光刻工艺… 一45 4.13SOI片的湿法刻蚀… ..47 4.1.4转印操作… .48 4.1.5显微镜观察… ..49 西安理工大学硕士学位论文 4.2软界面黏附实验………………………………………………………………………5 1 4.2.1硅薄膜一PDMS压曲实验… 51 4.2.1铝箔一PDMS压曲实验… 55 4.2.P3 DMS条缠绕实验… 一58 4.3本章小结… 62 5 PVDF柔性传感器研究… 一63 5.1压电薄膜的有限元分析… 63 5.1.1有限元建模… 一63 5.1.2结果分析… ..65 5.2PVDF柔性传感器的制备… 67 5.3本章小结… 71 6全文总结与展望… .73 致谢… 一 参考文献… .77 研究生期间发表的论文… .83

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