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1绪论…………………………………………………………………………………………………………………………
1.1课题的研究背景和意义… 一1
1.1.1柔性电子的提出… 1
1.1.2柔性结构介绍… 4
1.1.3转印技术简介… 5
1.2国内外研究进展概述… 一6
1.2.1柔性电子的研究进展… 6
1.2.1柔性传感器的应用… 8
1.3本文的研究内容及安排………………………………………………………………1 0
1.3.1本文的研究内容… 一10
1.3.2论文的章节安排… .10
2柔性层合梁结构的弯曲分析… .13
2.1层合梁结构弯曲的力学建模… 13
2.2.1理论模型… .13
2.1.2基本方程与边界条件… ..14
2.2模型求解… 17
2.2.1微分求积法及应用… ..17
2.2.2算例… ..19
2.3刁王章小结… .
3转印过程及柔性复合结构的有限元模拟… .25
3.1转印过程的有限元模拟… 25
3.1.1建立有限元模型… ..25
3.1.2有限元结果及分析… ..28
3.2柔性复合结构的有限元仿真… 33
3.2.1复合梁结构的有限元仿真… 一34
3.2.2复合板结构的有限元仿真… ..37
3.3本章小结… ..40
4转印相关实验及软界面黏附实验… .43
4.1转印相关实验… 43
4.1.P1 DMS特性及制备方法… ..44
4.1.1光刻工艺… 一45
4.13SOI片的湿法刻蚀… ..47
4.1.4转印操作… .48
4.1.5显微镜观察… ..49
西安理工大学硕士学位论文
4.2软界面黏附实验………………………………………………………………………5 1
4.2.1硅薄膜一PDMS压曲实验… 51
4.2.1铝箔一PDMS压曲实验… 55
4.2.P3 DMS条缠绕实验… 一58
4.3本章小结… 62
5 PVDF柔性传感器研究… 一63
5.1压电薄膜的有限元分析… 63
5.1.1有限元建模… 一63
5.1.2结果分析… ..65
5.2PVDF柔性传感器的制备… 67
5.3本章小结… 71
6全文总结与展望… .73
致谢… 一
参考文献… .77
研究生期间发表的论文… .83
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