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- 2022-04-17 发布于北京
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综述:等离子体纳米光刻
Zhihua Xie Weixing Yu Taisheng Wang
Hongxin Zhang Yongqi Fu Hua Liu Fengyou Li
Zhenwu Lu Qiang Sun
接收于2011 年1 月9 日/承认于2011 年5 月23 日/网上 于2011 年5 月31 日
© 科学+商业传媒,LLC2011
摘要
表面等离子体激元(SPPs)在最近十 引起了极大的关注,并且由于不受衍射极限限制
的能力而被成功应用到纳米级光刻中。这篇文章回顾了
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