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SAW传感器信号检测 * 第三十页，共五十一页。 SAW传感器信号检测 图7-12 正交相位检波原理 * 第三十一页，共五十一页。 一 选择零温度系数切型 二 差动法 三 数字补偿法 四 浮动零点法 SAW传感器的温度补偿 * 第三十二页，共五十一页。 １）高精度，高灵敏度； ２）准数字输出 ； ３）微型化，低功耗； ４）便于实现无线、无源化 ； ５）多参数敏感性，抗干扰能力强； 6） 结构工艺性好，便于大批量生产 SAW传感器特点 * 第三十三页，共五十一页。 到日前为止，已经研制出的SAW传感 器，归纳起来可分为三大类： 1 物理量传感器： 力(压力、应力)传感器、扭矩传感器、加速度传感器、 角速度传感器（陀螺）、温度传感器、位移传感器、倾斜度传感器、磁场传感器、电压传感器、流量传感器、水声传感器等 2 化学量传感器： 气体传感器、露点传感器、湿度传感器、微质量传感器(微量天平)等； 3 生物传感器： 酶传感器、免疫传感器、液体识别传感器、离子识别传感器等。 种类 * 第三十四页，共五十一页。 8.5 声表面波传感器的应用 Vibration and Acceleration SAW Sensor Torque SAW Sensor SAW Gyroscope Flow SAW Sensor Liquid SAW Sensor Gas SAW