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7 光电子能谱分析 1 概述 电子能谱是一种研究物质表面的性质和状态的物理方法。 表面的含义：指固体最外层的1～10个原子的表面层和吸附在它上面的原子、分子、离子或其它覆盖层。 表面由于各种原因，具有与基体不同的物理化学性质。 1.1 表面分析可以得到的信息 借助各种表面分析仪，对物体10nm以内的表面层进行分析，可得到的信息有： （1）物质表面层（包括吸附层）的化学成分，除氢元素以外的元素都可以从表面分析法获得定性和定量的结果。 （2）物质表面层元素所处的状态或与其它元素间的结合状态和结构，即元素所处的原子状态、价态、分子结构等信息。 （3）表面层物质的状态。 （4）物质表面层的物理性质。 由于表面分析法的分析范围有限（10个原子层的厚度以内，即10nm以内），一般物质的表面极易受到周围环境的污染。因此，在作表面分析工作时，不仅在制备样品时要求在高真空和超净条件下进行，而且在测试过程中也要注意仪器中的条件，以防止因污染而引起测试误差。（对真空度有要求） 1.2 表面分析法的特点 表面分析法主要指用一种粒子（电子、离子、中性粒子或光子）作辐射源轰击样品，使样品受激放出二次粒子，测量二次粒子的能量和性质。 二次粒子和辐射源既可是同种也可以是异种。