X射线光电子能谱(XPS)---课件.pptVIP

X射线光电子能谱（XPS） 聊城大学 赵笛 XPS的基本原理 XPS是一种基于光电效应的电子能谱，它是利用X射线光子激发出物质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行能量分析而获得的一种能谱。 这种能谱最初是被用来进行化学分析，因此也叫做化学分析电子能谱（ESCA）。 XPS的基本原理 在实验时样品表面受辐照损伤小，XPS是用X射线光子激发原子的内层电子发生电离，产生光电子，这些内层能级的结合能对特定的元素具有特定的值，因此通过测定电子的结合能和谱峰强度，可鉴定除H 和He（它们没有内层能级）之外的全部元素以及元素的定量分析，并具有很高的绝对灵敏度。 XPS的用途 元素的定性分析。可以根据能谱图中出现的特征谱线的位置鉴定除H、He以外的所有元素。 元素半定量分析。根据能谱图中光电子谱线强度（光电子峰的面积）反应原子的含量或相对浓度 。 固体表面分析。包括表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表面电子的电子云分布和能级结构等 。 XPS的用途 化合物的结构。可以对内层电子结合能的化学位移精确测量，提供化学键和电荷分布方面的信息 。 分子生物学中的应用。例如：利用XPS鉴定维生素B12中的少量的Co 。 电子能谱仪 电子能谱仪主要由激发源、电子能量分析器、探测电子的监测器、真空系统等。 激发源 激发源通常有：X射线源、