第十五章习题答案final.pdfVIP

【精品文档】 1 1、电子探针仪与扫描电镜有何异同 ? 电子探针仪如何与扫描电镜和 2 透射电镜配合进行组织结构与微区化学成分的同位分析 ? 3 答：相同点： 4 ① 镜筒及样品室无本质差别。 5 ② 原理相同。利用电子束轰击固体样本产生的信号进行分析。 6 不同点： 7 ① 检测信号类型不同。电子探针检测的是特征 X 射线，扫描电镜检 8 测的是二次电子和背散电子。 9 ② 用途不同。电子探针得到的是元素种类和含量，用于成分分析；扫描电镜主要用于形貌 10 分析。 11 透射电镜成像操作用来组织观察， 通过选取衍射操作用来分析选定区域的晶体结构， 结合电 12 子探针可分析选定区域的微区化化学成分，这样组织结构与微区化化学成分做到同位分析。 13 扫描电镜用于形貌观察， 结合电子探针可分析选定区域的微区化化学成分， 这样形貌与微区 14 化化学成分做到同位分析。 15 2、波谱仪和能谱仪各有什么优缺点 ? 16 答： 操作特性 波谱仪（ WDS） 能谱仪（ EDS） 分析方式 用几块分光晶体 用 Si(Li) EDS 顺序进行分析 进行多元素同时分析 分析元素范围 Z≥4 Z≥ 11 (铍窗 ) 分辨率 与分光晶体有关， ~5-10eV 与能量有关， ~160 eV 几何收集效率 改变， 0.2% 2% 对表面要求 平整，光滑 较粗糙表面也适用 典型数据收集 10 min 2~3 min 时间 谱失真 少 主要包括：逃逸峰、峰重叠、 脉冲堆积、电子束散射、铍窗 吸收效应等 最小束斑直径 ~ 200 nm ~ 5 nm 探测极限 0.01~0.1% 0.1~0.5% 对试样损伤 大 小 17 能谱仪： 18 ① 能谱仪分辨率比波谱仪低， 能谱仪给出的波峰比较宽， 容易重叠。 在一般情况下， Si （Li ） 【精品文档】- 仅供参考学习与交流 【精品文档】 19 检测器的能量分辨率约为 160eV，而波谱仪的能量分辨率可达 5-10eV 。 20 ② 能谱仪中因 Si （Li ）检测器的铍窗口限制了超轻元素 X 射线的测量， 因此它只能分析原 21 子系数大于 11 的元素，而波谱仪可测定原子序数 4-92 之间所有的元素。 22 ③ 能谱仪的 Si （Li ）探头必须保持在低温状态，因此必须时时用液氮冷却。 23 波谱仪： 24 ① 波谱仪由于通过分光体衍射，探测 X 射线效率低，因而灵敏度低。