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- 2022-04-29 发布于江苏
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氮化镓的合成制备及展望
度高,且制备前驱物使用的柠檬酸无毒无污染,是一种较为理想的制备方法。
2.化学气相沉积法
使用化学气相沉积法(CVD 法)可以制备出GaN纳米线。该方法一般采用金属镓或氧化镓作为镓源,NH3 作为氮源,在硅衬底上进行沉积。此外,该衬底通常涂上一层含镍 (Ni2+)的溶液。将该溶液作为硅衬底的涂层,可以对反应起到催化的作用。反应前,先将金属镓或者氧化镓粉末置于石英反应器的内层作为镓源,后将涂有镍溶液的硅衬底垂直放入镓源混合物中。反应时通过石英反应器外层提高反应温度。当加热到300 ℃左右时,Ni2+逐渐分解为Ni(OH)2,随后分解为NiO,此时通入氢气,可以得到Ni 催化剂,继续加热到700 ℃后停止通氢气,并通入氨气继续反应一段时间后自然冷却,在衬底上可得到GaN 纳米线。
在相同的生长温度下, 不同的衬底上合成的GaN 的形貌也有很大差异,光滑的衬底表面更易于GaN 纳米线的合成。当NH3 气流在100 mL/min 及以下时能形成形貌较好的GaN 纳米线。
3.溶剂热法
使用溶剂热法可以实现纳米GaN 粉末的低温合成。该方法采用GaCl3 作镓源,Li3N 或者NaN3 作氮源,并用苯作为有机溶剂。操作时先将镓源溶于有机溶剂中,再将氮源加入上述溶液,将混合物放入高压釜中,仅需加热到280~300 ℃反应10~12 h即可制备出GaN 纳米粉
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